該產品使用納米a-Al2O3,制備高純度、高固含量,低粘度的納米分散液,其具備優異的分散性和穩定性,顆粒尺寸分布狹窄(100nm-1000nm任意調控),不易二次團聚,可以長期存儲穩定無沉淀。
主要應用:芯片拋光、碳化硅晶圓拋光、陶瓷基復合材料浸漬等