該產(chǎn)品使用納米a-Al2O3,制備高純度、高固含量,低粘度的納米分散液,其具備優(yōu)異的分散性和穩(wěn)定性,顆粒尺寸分布狹窄(100nm-1000nm任意調(diào)控),不易二次團聚,可以長期存儲穩(wěn)定無沉淀。
主要應(yīng)用:芯片拋光、碳化硅晶圓拋光、陶瓷基復(fù)合材料浸漬等