硝酸鈰銨是一種由鈰、銨和硝酸根離子組成的無機(jī)鹽。硝酸鈰銨的分子量為548.22,CAS號(hào)為16774-21-3,屬于單斜晶系化合物,易潮解,密度為1.10 g/cm3,熔點(diǎn)為107-108°C。硝酸鈰銨價(jià)格,硝酸鈰銨現(xiàn)貨蝕刻原理:硝酸鈰銨中的鈰離子為 + 4 價(jià),具有強(qiáng)氧化性。在酸性環(huán)境下,\(Ce^{4+}\)的標(biāo)準(zhǔn)電極電勢(shì)在 1.61V 左右,其能夠與許多金屬發(fā)生氧化還原反應(yīng),比如可以把金屬鉻從 0 價(jià)氧化為 Cr (VI),從而讓金屬溶解,實(shí)現(xiàn)蝕刻目的 。
常見應(yīng)用領(lǐng)域鉻金屬蝕刻:硝酸鈰銨是制備鉻蝕刻液的常用原料,市售的鉻蝕刻液常為硝酸鈰銨水溶液中加入高氯酸或硝酸的混合液。同時(shí)為進(jìn)一步提升刻蝕效果,部分蝕刻液配方還會(huì)添加非氧化性酸、過氧化氫、穩(wěn)定劑等成分 。
其他金屬及合金蝕刻:它還可用于蝕刻鋁、銅、鎳以及鎳鉻合金等材料,通常也需要搭配其他酸性物質(zhì)組成蝕刻體系,如鎳鉻合金蝕刻劑就是硝酸鈰銨和硝酸的混合構(gòu)成的高純度蝕刻體系。
半導(dǎo)體材料加工:在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)里,硝酸鈰銨基蝕刻劑可以用于 GaAs 等半導(dǎo)體材料蝕刻,同時(shí)也能對(duì)硅、鉭 / TaN 等材料進(jìn)行表面氧化處理,以滿足半導(dǎo)體器件特定的工藝制造需求 。