近日據(jù)當?shù)孛襟w報道,去年10月開工,投資逾5億元(6922萬美元),位于中德(沈陽)高端裝備制造產(chǎn)業(yè)園的沈陽賀利氏信越石英半導(dǎo)體生產(chǎn)基地建設(shè)項目已進入機電安裝施工階段。計劃于2024年6月投入使用。

在一些半導(dǎo)體制造工藝中,所使用的機械、設(shè)備和容器需要具有耐熱性和化學(xué)純度。在這種條件下,化學(xué)元素不得轉(zhuǎn)移,這包括與半導(dǎo)體材料和痕跡的反應(yīng)。此外,在半導(dǎo)體處理工藝中,重點關(guān)注高純度和是否存在揮發(fā)性物質(zhì)。石英玻璃是唯一可以滿足所有這些要求的材料。

據(jù)介紹,該項目生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)超純石英系列產(chǎn)品,將建成一座以半導(dǎo)體器件、集成電路產(chǎn)業(yè)化為主導(dǎo)方向的國際標桿科技園區(qū),持續(xù)為全球高端芯片制造工廠提供石英制品服務(wù),并帶動全球半導(dǎo)體行業(yè)創(chuàng)新技術(shù)向遼寧集聚。
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作者:粉體圈
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