近日據當地媒體報道，去年10月開工，投資逾5億元（6922萬美元），位于中德(沈陽)高端裝備制造產業園的沈陽賀利氏信越石英半導體生產基地建設項目已進入機電安裝施工階段。計劃于2024年6月投入使用。
在一些半導體制造工藝中，所使用的機械、設備和容器需要具有耐熱性和化學純度。在這種條件下，化學元素不得轉移，這包括與半導體材料和痕跡的反應。此外，在半導體處理工藝中，重點關注高純度和是否存在揮發性物質。石英玻璃是唯一可以滿足所有這些要求的材料。
據介紹，該項目生產半導體行業超純石英系列產品，將建成一座以半導體器件、集成電路產業化為主導方向的國際標桿科技園區，持續為全球高端芯片制造工廠提供石英制品服務，并帶動全球半導體行業創新技術向遼寧集聚。
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作者：粉體圈
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