據(jù)湖北日報報道,12月8日,總投資約15億元的吉盛微公司武漢碳化硅制造基地在武漢經(jīng)開綜合保稅區(qū)正式投產(chǎn),主要生產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)鏈關鍵設備的零部件和耗材。

據(jù)悉,今年2月在上海舉行的2023武漢招商引資推介大會上,盛吉盛(寧波)半導體科技有限公司簽約本次項目。近年來,盛吉盛半導體致力于推動半導體設備和關鍵零部件國產(chǎn)化,已有多款設備和零部件交付國內(nèi)龍頭客戶。今年3月,吉盛微(武漢)新材料科技有限公司成立,主要從事半導體及泛半導體設備用CVD Sic原材料及Sic 部件(Ring、Shower Head、Boat、Fin、Tube、plate、Susceptor、Bolt、Pin等)、超高純高精密陶瓷材料及部件、Sic Epi Wafer、CVD Sic設備的研發(fā)及生產(chǎn)制造。6月啟動生產(chǎn)線設計施工,8月入駐試生產(chǎn)。
隨著基地項目正式投產(chǎn),吉盛微已經(jīng)完成了刻蝕、擴散、外延、快速熱處理等多個工藝的零部件、耗材開發(fā)工作,部分產(chǎn)品填補了國內(nèi)空白,初步具備穩(wěn)定的生產(chǎn)供貨能力。
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作者:粉體圈
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