據南方日報消息，2月10日，珠海至微半導體零部件清洗項目動工儀式在珠海高新區智能制造加速基地舉行。據了解，該項目聚焦半導體晶圓廠關鍵制程設備的零部件精密清洗和翻修服務，廠房總面積為4200平方米，配置10級無塵車間，規劃建設4條獨立制程清洗產線和表面處理產線，預計年清洗產能為36萬件，項目建成后可為珠三角半導體晶圓廠提供“2小時配套圈”服務。
活動現場（來源：南方日報）
在半導體的生產過程中，半導體設備部分零部件表面可能會沉積覆著物或被刻蝕副產物污染，而這些覆著物或雜質會影響最終產品的性能和良率，因此為確保生產的功效，需要定期對半導體設備進行洗凈，以達到提高設備稼動率，延長制程設備的使用壽命的目的。半導體零部件清洗不僅是新設備零部件組裝前必不可少的關鍵環節，還是使用中的設備日常保養和維護的重要措施和必要環節，其主要包括基礎洗凈、陶瓷熔射、陽極氧化以及維修翻新業務等。
此次珠海至微半導體零部件清洗項目動工，不僅推動了我國半導體零部件清洗服務的升級與發展，還助力珠海集成電路產業鏈的進一步完善，為廣東打造中國集成電路產業“第三極”提供支撐。
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作者：粉體圈
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