靜電吸盤/卡盤（ESC）和加熱器（heater）作為半導體制程中重要的先進陶瓷部件，難度大門檻高，目前歐美日韓的先進材料企業主導市場。近幾年，國內高科技材料企業向這個領域發起挑戰，通過自研或引進技術，開發出相關產品或開展生產項目建設，力求實現國產替代。以下小編對國內（限大陸）研發驗證、擬建、開工或試產的部分企業/項目稍作盤點，幫助希望了解行業國產替代進程的些許參考。

江豐電子——靜電吸盤

今年4月15日，江豐電子與韓國KSTE INC.簽署了關于靜電吸盤項目的合作框架協議，旨在引進靜電吸盤生產技術并在中國大陸地區實現獨立量產。詳情可參考下方相關資訊。

濺射靶材+靜電吸盤：江豐電子半導體技術與產業鏈雙向加碼韓國

廣東海拓創新精密設備科技有限公司——靜電吸盤/陶瓷加熱器

海拓創新前身創立于2003年，2006年開始進行第一代靜電吸附系統開發，并在2014年進行半導體及微電子領域靜電吸附系統，次年正式改組成立海拓創新，為半導體FAB、國產半導體裝備商提供高效國產化（Second Source）靜電卡盤備件服務方案。

蘇州珂瑪材料科技股份有限公司——陶瓷加熱器/靜電卡盤

2024年8月9日，珂瑪科技首次公開發行股票并在創業板上市招股說明書，募集資金用于先進材料生產基地項目、泛半導體核心零部件加工制造項目、研發中心建設項目和補充流動資金。其中提及公司對陶瓷加熱器、靜電卡盤和超高純碳化硅套件等全球視野下高難度“功能-結構”一體化產品牽頭開展了領先性的產業鏈合作研發——截至招股說明書簽署日，公司陶瓷加熱器產品已通過客戶驗證并實現量產。

君原電子科技（海寧）有限公司——靜電吸盤

君原電子科技（海寧）有限公司成立于2020年，位于嘉興市海寧泛半導體（中國）產業園，靜電吸盤產品實現量產，并已通過12寸晶圓廠驗證。最近一段時間密集申請/獲得包括“一種靜電卡盤多層共燒陶瓷盤的制備方法”、“一種提高高純氧化鋁靜電卡盤排膠率的方法”、“一種氮化鋁靜電卡盤的制備方法”、“一種靜電卡盤，旨在有效減少晶圓彎曲以及避免晶圓在生產過程中發生彈片現象”，等等專利。今年4月2日，君原電子與武漢東湖高新區簽約，將在光谷建設半導體靜電吸盤項目。此次簽約項目落戶光谷筑芯科技產業園，將建設靜電吸盤產線，就近為光谷集成電路企業提供靜電吸盤生產與維修服務。

河北中瓷電子科技股份有限公司——加熱器/靜電卡盤

中瓷電子成立于2009年，專業從事電子陶瓷系列產品業務。根據2024年4月，東方財富網公布的中瓷科技投資者關系活動記錄表，公司已開發了精密陶瓷零部件用氧化鋁、氮化鋁核心材料和配套的金屬化體系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工藝平臺，開發的陶瓷加熱盤產品核心技術指標已達到國際同類產品水平并通過用戶驗證，已批量應用于國產半導體關鍵設備中，靜電卡盤正在客戶驗證中。

湘芯半導體生產基地項目——靜電吸盤

2024年11月21日，湘芯半導體生產基地（一期）項目開工儀式在婁星產業開發區舉行。據“婁底發布”介紹，作為愛派爾“1+N”智能制造產業園的重要配套項目，該項目達產后，將具備年產3萬件半導體設備用核心零部件的生產能力，建成我國首條大尺寸靜電吸盤生產線、碳化硅刻蝕環生產線、磁懸浮分子泵生產線。

中山市思考電子科技有限公司——靜電卡盤/加熱器

思考電子前身2001年在深圳成立，2014年將半導體ESC靜電卡盤納入研發項目，2016年搬遷至中山并正式成立，2022年半導體ESC靜電卡盤研發突破氮化鋁陶瓷高溫共燒核心技術,2023年衍生出新產品：氮化鋁陶瓷加熱器，年底ESC靜電卡盤在客戶端測試成功！

寧夏創格新材料科技有限公司——靜電吸盤/加熱器

公司成立于2022年8月，從事半導體陶瓷業務。2024年8月，由寧夏材料研究學會推薦，北方民族大學副教授吳芳芳博士牽頭與寧夏創格新材料科技有限公司共建博士創新服務站，共同開展硅基高介電特性低溫共燒陶瓷（LTCC）的制備及其機理研究。2025年2月22日，寧夏日報、人民網報道，寧夏創格新材料科技有限公司突破多項技術瓶頸，成為國內少數具備高溫、低溫、RF及真空吸附等多類型加熱器、靜電吸盤量產能力的企業。

浙江新納材料科技——靜電吸盤

2019年，橫店集團旗下浙江新納材料科技有限公司完成股改，電子陶瓷產品主要包括陶瓷基板、陶瓷結構件、靜電吸盤等。公司研發的靜電吸盤產品，按照半導體行業相關標準設計和加工，性能指標滿足市場需求，通過了下游國內半導體行業龍頭企業長江存儲、士蘭微、北方華創等客戶認證并實現銷售，打破了國外廠商在該產品領域內的壟斷局面。

蘇州芯慧聯半導體科技有限公司——靜電卡盤

芯慧聯于2019年1月份簽約落戶常熟高新區，業務包括半導體設備、零部件及相關技術服務。

福建華清電子材料科技有限公司——加熱器/靜電吸盤

福建華清電子材料科技有限公司成立于2004年，系國內首家專業從事高性能氮化鋁陶瓷基板和電子陶瓷元器件研發、生產、銷售于一體的高新技術企業。2024年11月，華清電子材料在重慶涪陵的產業投資布局，正式簽署半導體封裝材料和集成電路先進陶瓷項目——內容從氮化硅、氮化鋁高純粉體到基板、覆銅板以及陶瓷加熱盤和靜電吸盤等，產業鏈貫通。2025年3月，粉體工業萬里行項目組拜訪華清電材料時，在展廳見證了最大尺寸可達直徑450mm，最厚35mm的氮化鋁加熱盤精密陶瓷零件。 

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