在氮化物陶瓷中,相比在近年來風頭正盛的氮化鋁、氮化硅,氮化硼BN可謂異常低調。究其原因無非是兩個方面:一是技術門檻高,二是市場空間小。這也幾乎是所有利基市場(高度專業化市場)的特征。
“國內從事氮化硼粉體生產的企業數量并不少,產品多數應用于高導熱填料、超硬刀具等領域,BN陶瓷的占比不大”。福州賽瑞特新材料技術開發有限公司(下稱,賽瑞特)陳昌波先生認為BN陶瓷大致可細分為兩種路線:高純和復合。其中,高純氮化硼陶瓷具備優異的耐高溫性能;復合氮化硼陶瓷則犧牲一些耐高溫性能,換來如耐腐蝕、耐磨性、抗熱震性等不同方向能力的提升。
高純氮化硼陶瓷的重要應用領域之一是半導體行業,“在該領域,目前已經有部分熱壓氮化硼陶瓷可用于替代熱解(化學氣相沉積CVD)氮化硼(PBN),實現它的重要前提是控制粉體原料中包括氧、硅、鋁等雜質含量,其中又以氧含量為主。”而這塊仍被國外供應商壟斷,陳總認為這是國內氮化硼粉體原材料技術突破的重要方向。
500mm大尺寸產品
復合氮化硼陶瓷更是行業發展趨勢,“氧化鋯、碳化硅、氮化鋁、氮化硅等不同添加配方會使產品具備不同特性,為客戶定制產品需要大量生產實踐和經驗總結”。因為具備真空熱壓爐的研發設計能力,賽瑞特在保證較高生產力的同時也使產品開發能力得到大大提升;并且成為國內唯一可生產500mm大尺寸匣體和坩堝的供應商。
雖說小眾,但陳總非常看好氮化硼陶瓷的前景,他介紹,比如氮化鋁基板的生產就需要用到高純氮化硼匣體;氣霧化制粉和非晶帶材也需要用到復合氮化硼噴嘴,上述已經爆發和正在爆發的產業都會拉動氮化硼陶瓷的需求。
粉體圈 郜白
作者:粉體圈
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