3月10日，創(chuàng)業(yè)板上市企業(yè)湖北鼎龍控股股份有限公司發(fā)布“關(guān)于公司拋光液產(chǎn)品通過客戶端驗證并開啟計劃采購的公告”，公司控股子公司武漢鼎澤新材料技術(shù)有限公司的氧化鋁拋光液產(chǎn)品在某家公司28nm節(jié)點HKMG工藝的Al CMP制程驗證通過。這也意味著目前鼎龍控股研磨粒子已實現(xiàn)“卡脖子”關(guān)鍵核心技術(shù)重大突破，可以滿足客戶定制化需求。

拋光液是集成電路制造中晶圓平坦化工藝的重要材料，其組分包含研磨粒子與化學(xué)成分，因而對其性質(zhì)的控制，是決定化學(xué)機械平坦化制程中化學(xué)能力與機械作用的關(guān)鍵。從硅晶圓制造，到集成電路器件構(gòu)建，再到芯片封裝環(huán)節(jié)，拋光液被認(rèn)為是貫穿于芯片“從砂到芯”的全流程材料。其中，研磨粒子是拋光液的核心，是世界公認(rèn)的“技術(shù)護(hù)城河”。

據(jù)公告，該產(chǎn)品使用氧化鋁研磨粒子和高分子聚合物，是所有拋光液中技術(shù)最難的關(guān)鍵材料，鼎龍控股已突破技術(shù)難關(guān)，實現(xiàn)三種關(guān)鍵材料的自主制備。該款搭載公司自制研磨粒子的拋光液產(chǎn)品，是目前尚未取得國產(chǎn)化材料突破的卡脖子拋光液型號之一，難度極高，其各項參數(shù)均達(dá)到客戶應(yīng)用要求，通過客戶端全方面工藝參數(shù)驗證，并已進(jìn)入噸級采購階段。目前，公司各制程拋光液在中國各個主流廠商的驗證評價和市場推廣工作已全面展開，部分客戶的初步評價已經(jīng)獲得了客戶端極好的評價結(jié)果。產(chǎn)能建設(shè)方面，武漢本部工廠一期全自動化拋光液生產(chǎn)車間已經(jīng)建成，具備年產(chǎn)5000噸拋光液的生產(chǎn)能力，能夠滿足客戶端訂單需求。公司將根據(jù)市場情況盡快研究部署二期產(chǎn)能建設(shè)。

粉體圈 整理

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