3月10日，創業板上市企業湖北鼎龍控股股份有限公司發布“關于公司拋光液產品通過客戶端驗證并開啟計劃采購的公告”，公司控股子公司武漢鼎澤新材料技術有限公司的氧化鋁拋光液產品在某家公司28nm節點HKMG工藝的Al CMP制程驗證通過。這也意味著目前鼎龍控股研磨粒子已實現“卡脖子”關鍵核心技術重大突破，可以滿足客戶定制化需求。

拋光液是集成電路制造中晶圓平坦化工藝的重要材料，其組分包含研磨粒子與化學成分，因而對其性質的控制，是決定化學機械平坦化制程中化學能力與機械作用的關鍵。從硅晶圓制造，到集成電路器件構建，再到芯片封裝環節，拋光液被認為是貫穿于芯片“從砂到芯”的全流程材料。其中，研磨粒子是拋光液的核心，是世界公認的“技術護城河”。

據公告，該產品使用氧化鋁研磨粒子和高分子聚合物，是所有拋光液中技術最難的關鍵材料，鼎龍控股已突破技術難關，實現三種關鍵材料的自主制備。該款搭載公司自制研磨粒子的拋光液產品，是目前尚未取得國產化材料突破的卡脖子拋光液型號之一，難度極高，其各項參數均達到客戶應用要求，通過客戶端全方面工藝參數驗證，并已進入噸級采購階段。目前，公司各制程拋光液在中國各個主流廠商的驗證評價和市場推廣工作已全面展開，部分客戶的初步評價已經獲得了客戶端極好的評價結果。產能建設方面，武漢本部工廠一期全自動化拋光液生產車間已經建成，具備年產5000噸拋光液的生產能力，能夠滿足客戶端訂單需求。公司將根據市場情況盡快研究部署二期產能建設。

粉體圈 整理

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