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氧化鈰減反射膜制備材料硝酸鈰銨

氧化鈰(CeO?)減反射膜通過調(diào)控光的反射與透射,廣泛應(yīng)用于光學器件、光伏電池、顯示器等領(lǐng)域。其制備材料需結(jié)合成膜機理、基底特性及應(yīng)用場景綜合選擇,主要包括成膜核心材料、摻雜調(diào)節(jié)材料、基底材料及輔助材料四類


氧化鈰減反射膜的核心成分是 CeO?,但其直接成膜難度較高,實際制備中多采用鈰基前驅(qū)體,通過熱分解、化學反應(yīng)等過程轉(zhuǎn)化為 CeO?。選擇需滿足溶解性、反應(yīng)活性及成膜均勻性要求

無機鈰鹽:

硝酸鈰(Ce (NO?)??6H?O):水溶性好,成本低,是溶膠 - 凝膠法的常用前驅(qū)體,加熱后分解為 CeO?(反應(yīng):2Ce (NO?)? → 2CeO? + 6NO?↑ + O?↑)。

氯化鈰(CeCl??7H?O):易溶于水和乙醇,但含氯元素可能導(dǎo)致膜層殘留雜質(zhì),需配合洗滌工藝使用。

草酸鈰(Ce?(C?O?)??10H?O):熱穩(wěn)定性適中,分解產(chǎn)物純凈(僅 CeO?、CO?),適合制備高純度膜層。

有機鈰鹽:

硝酸鈰銨((NH?)?Ce (NO?)?):氧化性強,在有機體系中溶解性好,可與醇類溶劑配合,用于化學氣相沉積(CVD)的前驅(qū)體

CAN是硝酸鈰銨的縮略寫法



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