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CeO?基功能薄膜 硝酸鈰銨作為 CVD 前驅(qū)體

英文名Diammonium cerium(IV) nitrate

 

分子式:(NH4)2Ce(NO3)6·2H2O

 

硝酸鈰銨分子量:584.23

 

CAS . :16774-21-3

高純度 CeO?光學(xué)薄膜

在光學(xué)鏡頭、激光窗口等領(lǐng)域,利用 CAN 分解產(chǎn)物純凈的特點(diǎn),制備低散射、高透光率(可見(jiàn)光波段 > 90%)的 CeO?減反射膜或保護(hù)膜。

 硝酸鈰銨作為 CVD 前驅(qū)體

摻雜復(fù)合薄膜

與硅酸乙酯(TEOS)共沉積,制備 CeO?-SiO?復(fù)合膜,調(diào)節(jié)折射率至 1.5-1.8,適配玻璃基底的減反射需求;

與硝酸鋯共沉積,形成 CeO?-ZrO?薄膜,提升高溫穩(wěn)定性(耐 800℃以上氧化),用于汽車(chē)尾氣傳感器等高溫器件。

半導(dǎo)體緩沖層

在硅基半導(dǎo)體器件中,通過(guò) CAN-CVD 制備 CeO?薄膜作為高 k 介電層緩沖層,利用其與硅基底的良好晶格匹配(CeO?晶格常數(shù) 0.541 nm,硅為 0.543 nm),減少界面應(yīng)力。



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單位名稱(chēng): 山東德盛新材料有限公司
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備注: 英文名Diammonium cerium(IV) nitrate 分子式:(NH4)2Ce(NO3)6·2H2O 硝酸鈰銨分子量:584.23 CAS . :16774-21-3