張澤芳，上海映智研磨材料有限公司、臨汾博利士納米材料有限公司創始人。2008年進入中國科學院上海微系統與信息技術研究所攻讀博士學位，從事藍寶石和玻璃的CMP研究。2011年至2014年任中國科學院上海微系統與信息技術研究所助理研究員，負責下一代LED藍寶石襯底、光學玻璃等拋光液的研究開發。2015年至2018年在復旦大學電子科學與技術博士后流動站從事科研工作，負責優化藍寶石拋光液配方和鋁合金拋光液配方。先后以第一作者發布SCI收錄論文20余篇，授權專利10余項。在化學機械拋光領域代表期刊《Journalof ElectrochemicalSociety》以第一作者在國內外雜志上發表論文10余篇，被EI收錄1篇。主持的重點項目：國家自然科學基金青年基金項目，新型LED藍寶石襯底拋光液設計及其拋光機理研究；上海市科技型中小企業創新基金，新型藍寶石拋光液的設計制備及產業化。參與國家十一五、國家十二五集成電路重大專項。被授予山西省青年拔尖人才、上海青浦區專業技術拔尖人才，曾獲得中國科學院院長優秀獎等榮譽。
研究方向
1．半導體襯底的化學機械拋光
2．消費電子產品的化學機械拋光
3．納米氧化硅的制備及其在無機涂料中的應用
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