
梅燕,北京工業(yè)大學材料與制造學部教授/碩士生導師。自2003年開始立足我國稀土鈰基CMP拋光磨料及拋光液的研究,博士論文題目為:CMP稀土拋光液的制備及超光滑硅片的化學機械拋光研究。
20年來一直從事稀土拋光粉的制備及拋光性能的研究工作,積累了豐富的實驗經(jīng)驗,同時與國內(nèi)相關(guān)CMP拋光加工生產(chǎn)企業(yè)、應用單位等建立了緊密的合作關(guān)系,并已合作開展過生產(chǎn)及應用方面的研究,在CMP拋光磨料制備、合成工藝、反應機理研究等方面均取得多項研究積累。
作為第一負責人,曾主持國家863重大項目子課題、北京市教委項目、企事業(yè)委托項目等多個科研項目,目前為“國家重點研發(fā)計劃項目---稀土專項”課題負責人。以第一作者發(fā)表發(fā)表稀土拋光專業(yè)的文章30余篇,以第一發(fā)明人獲得國家發(fā)明專利8項。