張保國(guó)，教授，所在單位：河北工業(yè)大學(xué)。

研究方向：1. 大規(guī)模集成電路20-14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械平坦化新工藝的研究 2. 化合物半導(dǎo)體材料表面拋光及清洗加工技術(shù)的研究 3. 倒裝LED芯片工藝中關(guān)鍵技術(shù)的研究 4. 柔性高效太陽(yáng)能電池新工藝的研究

教授，博士生導(dǎo)師。2000年，美國(guó)內(nèi)華達(dá)大學(xué)里諾分校獲工學(xué)博士學(xué)位；2000-2011年，在美國(guó)AXT，Wafer World，SVTC, Alta Devices等半導(dǎo)體高科技公司工作，研究方向：半導(dǎo)體材料（Si, Ge，GaAs, InP等）化學(xué)機(jī)械拋光和表面清洗，以及集成電路化學(xué)機(jī)械平坦化工藝（Cu, Ta, W, SiO2等）, 擔(dān)任高級(jí)工程師。2011-2013年，在江蘇省創(chuàng)辦無(wú)錫納克斯半導(dǎo)體材料公司，擔(dān)任總經(jīng)理，兼任技術(shù)總監(jiān)。2013年，加入河北工業(yè)大學(xué)電子與信息工程學(xué)院，任特聘教授。江蘇省雙創(chuàng)人才，河北省百人計(jì)劃人才，燕趙友誼獎(jiǎng)獲得者。

學(xué)術(shù)成果：微電子技術(shù)與材料方向負(fù)責(zé)人，國(guó)際ICPT程序委員會(huì)委員、中國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)平坦化技術(shù)聯(lián)盟執(zhí)行委員、中國(guó)顆粒學(xué)會(huì)顆粒制備與處理專(zhuān)業(yè)委員會(huì)委員，承擔(dān)河北省科技支撐項(xiàng)目一項(xiàng)。共發(fā)表包括《Applied Surface Science》、《ECS Solid State Science and Technology》、《人工晶體學(xué)報(bào)》等學(xué)術(shù)論文二十余篇。已發(fā)布及獲得知識(shí)產(chǎn)權(quán)專(zhuān)利四項(xiàng)。