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李薇薇
教授/研發(fā)總監(jiān)/河北工業(yè)大學(xué) / 廣東惠爾特納米科技有限公司


李薇薇，博士，河北工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)系教授，主要從事微電子、光電子工藝研究，器件性能提升與改進，納米材料制備與應(yīng)用等方面的研究。曾主持及參與“超大規(guī)模集成電路多層銅布線CMP技術(shù)與專用材料”、“CMP專用納米磨料生長粒徑控制技術(shù)研究”、“CMP專用新型納米磨料制備技術(shù)的研究”等科研項目，并取得多項相關(guān)成果及發(fā)明專利，著有《微電子化學(xué)技術(shù)基礎(chǔ)》、《微電子工藝基礎(chǔ)》等作品。