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李薇薇,博士,河北工業大學電子科學與技術系教授,主要從事微電子、光電子工藝研究,器件性能提升與改進,納米材料制備與應用等方面的研究。曾主持及參與“超大規模集成電路多層銅布線CMP技術與專用材料”、“CMP專用納米磨料生長粒徑控制技術研究”、“CMP專用新型納米磨料制備技術的研究”等科研項目,并取得多項相關成果及發明專利,著有《微電子化學技術基礎》、《微電子工藝基礎》等作品。
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