標(biāo)準(zhǔn)編號：GB/T 30656-2023
標(biāo)準(zhǔn)名稱：碳化硅單晶拋光片
起草單位：北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司、中國科學(xué)院物理研究所、南京國盛電子有限公司、安徽長飛先進(jìn)半導(dǎo)體有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司。
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會(SAC/TC203/SC2)
發(fā)布日期：2023-03-17
實施日期：2023-10-01
作者：粉體圈
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