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GB/T 41765-2022 碳化硅單晶位錯密度的測試方法

發布時間 | 2023-08-17 11:41 分類 | 行業標準 點擊量 | 1159
碳化硅
導讀：本文件規定了碳化硅單晶位錯密度的測試方法，適用于晶面偏離面、偏向<11?2 0>方向0°～8°的碳化硅單晶位錯密度的測試。

標準編號：GB/T 41765-2022

標準名稱：碳化硅單晶位錯密度的測試方法

起草單位：北京天科合達半導體股份有限公司、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司。

歸口單位：國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)

發布日期：2022-10-12

實施日期：2023-05-01

作者：粉體圈

總閱讀量：1159