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GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的測試 激光散射法

發布時間 | 2024-01-10 11:15 分類 | 行業標準 點擊量 | 1022
碳化硅
導讀：本文件描述了激光散射法測試碳化硅外延片表面缺陷的方法。 本文件適用于4H-SiC外延片的表面缺陷測試。

標準編號：GB/T 42902-2023

標準名稱：碳化硅外延片表面缺陷的測試 激光散射法

起草單位：安徽長飛先進半導體有限公司、廣東天域半導體股份有限公司、安徽芯樂半導體有限公司、南京國盛電子有限公司、浙江芯科半導體有限公司、河北普興電子科技股份有限公司、中國科學院半導體研究所。

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)

發布日期：2023-08-06

實施日期：2024-03-01

作者：粉體圈

總閱讀量：1022