標準編號:GBT 10118-2023
起草單位:有研國品輝新材料有限公司、朝陽金美鎵業有限公司、廣東先導微電子科技有限公司、成都中建材光電材料有限公司,東方電氣(樂山)峨半高純材料有限公司,有色金屬技術經濟研究院有限責任公司、武漢拓材科技有限公司、楚雄川至電子材料有限公司,株洲科能新材料股份有限公司云南錫業新材料有限公司。
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)
發布日期:2023-12-28
實施日期:2024-07-01
作者:粉體圈
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