半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“卡脖子”問題是中國科技自主化進(jìn)程中急待突破的關(guān)鍵瓶頸。從材料角度來看，先進(jìn)陶瓷的問題尤為突出——半導(dǎo)體設(shè)備的刻蝕、外延沉積、離子注入等核心工藝環(huán)節(jié)要求零部件具有高導(dǎo)熱性、耐腐蝕性、低熱膨脹系數(shù)、高機(jī)械強(qiáng)度和高剛度等特性，碳化硅、堇青石、氮化鋁等多種先進(jìn)陶瓷在不同場景各自綻放，而高性能氧化鋁陶瓷以其卓越性價比當(dāng)仁不讓地作為主力，成為目前半導(dǎo)體裝備中應(yīng)用最廣泛的陶瓷材料。

然而，滿足半導(dǎo)體嚴(yán)苛性能要求的前置很多，包括配方、工藝、設(shè)備、原材料（如粉體、助劑）以及下游驗(yàn)證周期和門檻等，這些要求給氧化鋁陶瓷供應(yīng)商帶來極大挑戰(zhàn)，同時也是創(chuàng)新突破的機(jī)遇——比如刻蝕腔體和內(nèi)襯為避免晶圓受到污染，采用高純氧化鋁陶瓷手臂；物理氣相沉積（PVD）和化學(xué)氣相沉積（CVD）過程要求加熱器、靜電吸盤等耐高溫、抗熱震，也會采用氧化鋁陶瓷；比如拋光臺、襯板和搬運(yùn)臂等涉及CMP拋光作業(yè)，要求耐磨、耐腐蝕，也用到氧化鋁陶瓷；還比如等離子清洗需要多種腐蝕性氣體，要求噴嘴高耐腐蝕且精密孔結(jié)構(gòu)……

定于2025年5月26日--28日，在廣州美麗豪酒店舉辦的“CAC2025廣州先進(jìn)陶瓷論壇暨展覽會”上，作為核心的技術(shù)論壇聚焦先進(jìn)陶瓷行業(yè)的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新應(yīng)用，匯聚行業(yè)專家、學(xué)者與企業(yè)代表，探討先進(jìn)陶瓷材料的最新發(fā)展與應(yīng)用場景，分享創(chuàng)新成果。在5月27日上午的“半導(dǎo)體與新能源陶瓷”分論壇上，湖南大學(xué)肖漢寧教授將作題為“半導(dǎo)體裝備用高性能氧化鋁陶瓷制備技術(shù)”的報告，針對半導(dǎo)體裝備用陶瓷零部件的應(yīng)用需求，全面介紹制備高性能氧化鋁陶瓷的原料特性、成型工藝、燒成技術(shù)、精密加工方法等，還將通過分析一些典型氧化鋁陶瓷零部件在半導(dǎo)體裝備中的應(yīng)用現(xiàn)狀，提出我國半導(dǎo)體裝備用陶瓷零部件的發(fā)展趨勢。相信這份結(jié)合技術(shù)解析和產(chǎn)業(yè)洞察的精彩分享，一定能為氧化鋁陶瓷研發(fā)、設(shè)備制造及國產(chǎn)替代提供新的思路與實(shí)踐指南。+

報告人簡介

肖漢寧，湖南大學(xué)教授，博士生導(dǎo)師，陶瓷研究所所長，享受國務(wù)院政府特殊津貼專家。現(xiàn)任中國硅酸鹽學(xué)會理事，湖南省硅酸鹽學(xué)會理事長，中國機(jī)械工程學(xué)會材料分會副理事長，中國電工技術(shù)學(xué)會電工陶瓷專業(yè)委員會副主任等。擔(dān)任《無機(jī)材料學(xué)報》、《硅酸鹽學(xué)報》、《功能材料》、《耐火材料》、《機(jī)械工程材料》、《陶瓷學(xué)報》等雜志編委。主要研究方向?yàn)椋合冗M(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷、多孔陶瓷、結(jié)構(gòu)-功能一體化陶瓷等。研究成果先后獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎1項(xiàng)，省部科技進(jìn)步一等獎1項(xiàng)、二等獎3項(xiàng)。在國內(nèi)外學(xué)術(shù)期刊發(fā)表論文350多篇，出版《高性能結(jié)構(gòu)陶瓷及其應(yīng)用》專著1部，獲授權(quán)發(fā)明專利30多件。

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