碳化硅（SiC）晶圓相比傳統(tǒng)硅（Si）晶圓在高壓、高頻、高溫等場(chǎng)景下優(yōu)勢(shì)明顯。對(duì)電動(dòng)汽車而言，SiC逆變器的效率提升和輕量化可以顯著縮短充電時(shí)間并且延長(zhǎng)續(xù)航里程；對(duì)5G基站來(lái)說(shuō)，高頻信號(hào)傳輸有賴于SiC射頻器件的支撐……近年來(lái)，眾多碳化硅晶圓生產(chǎn)建設(shè)項(xiàng)目紛紛上馬，成本問(wèn)題雖已緩解卻仍嫌不足，最大痛點(diǎn)就是研磨拋光難題。

云嶺半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)與萬(wàn)里行項(xiàng)目組

碳化硅莫氏硬度高達(dá)9.5，硅溶膠拋光它顯然是力不從心，因此碳化硅襯底拋光液的磨粒以氧化鋁為主。無(wú)錫云嶺半導(dǎo)體有限公司（云嶺半導(dǎo)體）在2023年五月正式成立，公司致力為以碳化硅為代表，包括藍(lán)寶石、氮化鎵、鈮酸鋰等半導(dǎo)體材料提供兼顧高效、高質(zhì)量的精密拋光解決方案。近日，中國(guó)粉體工業(yè)萬(wàn)里行項(xiàng)目組來(lái)到云嶺半導(dǎo)體總部，不僅了解到碳化硅襯底拋光液的制備技術(shù)，還有幸參觀了生產(chǎn)車間。以下就對(duì)此行收獲做些分享： 

自主研發(fā)

為了保障材料純度、粒徑分布、形貌等性能穩(wěn)定，云嶺半導(dǎo)體選擇與當(dāng)年美國(guó)FERRO自主生產(chǎn)氧化鋁一樣的發(fā)展路徑，獨(dú)立自主開(kāi)發(fā)制備氧化鋁，也由此打造出全國(guó)首個(gè)氧化鋁凈化車間——從改性到干燥，從燒結(jié)到粉碎，從配料到測(cè)試，各個(gè)產(chǎn)線和相關(guān)裝備有序安置。我們不能也不便在此復(fù)述全部工藝流程，但可以介紹一些細(xì)節(jié)：比如煅燒階段，粉體在坩堝的高度和裝填質(zhì)量都受到嚴(yán)格限定，避免性能不均勻；比如在氣流和砂磨粉碎以及分級(jí)和改性等粉體精細(xì)加工全流程中，同批次樣品的粒徑檢測(cè)就有40多次；還是同批次樣品，最終制成拋光液還會(huì)經(jīng)過(guò)多道應(yīng)用測(cè)試，檢測(cè)室中的拋光機(jī)不知疲倦地驗(yàn)證和記錄。最終，在一塵不染的凈化車間中制備出的氧化鋁磨粒已經(jīng)完全脫離工業(yè)原料屬性，其他常見(jiàn)批量化生產(chǎn)的氧化鋁原粉與其相比，就像花露水遇上了香奈兒。

產(chǎn)品及應(yīng)用

除了碳化硅襯底拋光液，云嶺半導(dǎo)體基于自身的氧化鋁粉體技術(shù)，精細(xì)磨粒制備和檢測(cè)裝備，拋光液配方，以及前后端全流程驗(yàn)證體系，為不同材料和應(yīng)用推出多種解決方案。比如，用于半導(dǎo)體陶瓷領(lǐng)域的氧化鋁拋光液可做到Ra<10nm；比如用于精密光學(xué)的180nm氧化鋁拋光液已經(jīng)取代昭和電工V2104和V2504，在達(dá)到客戶要求的光潔度基礎(chǔ)上，時(shí)間比稀土拋光液節(jié)省一半；還比如用于紅外晶體的300nm氧化鋁拋光液取代環(huán)球的0.3CR氧化鋁拋光粉。另外還與國(guó)內(nèi)硅溶膠企業(yè)合作研發(fā)的硅片拋光液，目前已在8寸反拋硅片上小批量用氧化硅粗拋液和精拋……

小結(jié)

2024年8月，無(wú)錫知名投資機(jī)構(gòu)“錫創(chuàng)投”完成對(duì)云嶺半導(dǎo)體的首輪融資，這是資本的態(tài)度，也是產(chǎn)業(yè)的風(fēng)向。本次拜訪萬(wàn)里行項(xiàng)目組更感受到云嶺半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)隊(duì)伍的熱情、積極和專業(yè)，我們不僅期待拋光液項(xiàng)目進(jìn)展順利，更重要的意義還在于，云嶺半導(dǎo)體的技術(shù)路徑彰顯了國(guó)內(nèi)企業(yè)在高端材料產(chǎn)業(yè)鏈中從被動(dòng)跟隨到自主創(chuàng)新的轉(zhuǎn)變，為破解“卡脖子”瓶頸提供了可復(fù)制的技術(shù)范式。

粉體工業(yè)萬(wàn)里行