在精密拋光過程中，拋光液中的大顆粒始終是一個難以忽視的隱患。即使是微米級別的顆粒，也可能成為影響成品表面質量和工藝良率的關鍵因素。如何精準識別并計數這些大顆粒的多少，已成為半導體行業繞不開的重要課題。

近日，中國粉體工業萬里行走訪了上海梓夢科技有限公司（下稱：梓夢科技）——一家起步于醫藥領域的高新技術企業，近年來憑借一整套“醫藥級”檢測儀器，成功跨界進入半導體等先進制造行業，尤其在檢測CMP拋光液中的大顆粒方面積累了豐富經驗。那么，梓夢科技是如何將這些“醫藥級”技術成功遷移到新材料檢測領域的？讓我們來一探究竟。

萬里行團隊與梓夢科技團隊合影

從醫藥制劑到CMP拋光液：精準檢測的技術遷移

成立于上海的梓夢科技，擁有大顆粒計數分析儀、粒形分析儀、激光粒度分析儀、納米粒度及zeta電位分析儀等一系列先進檢測產品，最初主要服務于制藥企業對注射液、外用制劑等的精細檢測需求。

梓夢科技張經理介紹道，在醫藥領域，許多藥用制劑對大顆粒的存在極為敏感，例如注射液對不溶性雜質顆粒的要求非常嚴格。這一理念與CMP拋光液中盡量減少大顆粒的要求不謀而合——因為大顆粒磨料會對晶圓表面造成劃痕，進而降低良率。

注射液與晶圓

“基于此，我們意識到醫藥領域成熟的檢測技術同樣適用于拋光液的質量控制。幾年前，梓夢便開始嘗試將這套技術引入拋光液檢測，并取得了顯著成效。目前這項技術在國內處于領先地位，屬于我們的獨家優勢。”張經理說道。

兩大核心產品，精準“揪出”大顆粒

為了精準檢測CMP拋光液中的大顆粒，梓夢科技推出了兩款基于不同檢測原理的核心產品——“CMP大顆粒計數分析儀 ZM-02”與“CMP粒形分析儀 M3000”。尤其是ZM-02，能夠精確計數溶液中的大顆粒數量，為企業提供更具針對性的生產質量控制指導。

1、CMP大顆粒計數分析儀 ZM-02

粒徑分布和顆粒濃度

大顆粒計數分析儀是采用光阻法原理設計生產的顆粒計數器，其主要功能是用來測試CMP Slurry藥液中顆粒數量等，如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等。ZM-02型號產品完全可以按照要求查看任意通道顆粒的數量，如1μm、2μm、5μm等。

l 檢測范圍：0.5μm–400μm

l 通道數高達1024，可精確監控1μm、2μm、5μm等關鍵尺寸

l 支持在線或離線檢測，并具備全自動進樣、自動稀釋、自動檢測、自動清洗功能

l 數據濃度可達 1×10⁹個/ml

這意味著，用戶不僅無須無需人工稀釋，還能快速識別出極小比例但高風險的大顆粒，從而提升工藝穩定性。

2、CMP粒形分析儀/M3000

粒形分析儀是采用動態圖像法原理設計生產的顆粒計數器，其主要的功能是用來測試CMP Slumy藥液中顆粒數量、顆粒形狀、不同形狀顆粒的數量濃度等。針對不同形狀的顆粒對拋光效果的影響，M3000尤其適用于CMP拋光液生產企業對“球形度”、“鈍度”等參數的管控。

l 檢測范圍：0.5μm–1000μm

l 可識別多種形狀顆粒，并分別給出濃度數據

l 離線或在線均可，全自動稀釋

測試報告：

圖1、球形度數據

圖2、頓度數據

目前，梓夢科技已與多家相關企業建立合作關系，并計劃根據下游客戶的實際需求，持續優化檢測儀器功能。以拋光行業為例，過去拋光液的濃度相對較高，而如今濃度逐漸降低，這對顆粒計數器的靈敏度和檢測能力提出了更高要求。為此，梓夢科技致力于研發具備雙重功能的儀器，既能精準檢測低濃度樣品，也能有效應對高濃度樣品的測量需求，從而滿足不同工況下的檢測需求。

結語

作為檢測儀器企業跨界進入新材料領域的典范，梓夢科技不僅把設備賣給新客戶，更重要的是還把新的檢測理念和服務體系帶進新行業，為粉體領域中顆粒尾部的“少量殺傷”難題提供了切實有效的解決方案。這樣的跨界合作，充分展示了檢測技術更廣闊的應用可能。

接下來，中國粉體工業萬里行將繼續出發，更多精彩，敬請期待！

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