粉體圈最近獲悉，瑞芯智造（深圳）科技有限公司推出了一款融合新一代電學庫爾特原理與全球首創(chuàng)的光刻固態(tài)納米孔芯片技術的納米粒度分析儀——它可一次性獲取粒徑、濃度、Zeta電位等多維參數(shù)，能夠為拋光劑、磨粒生產(chǎn)應用企業(yè)的研發(fā)和質(zhì)控提供高效、簡便、精準的全新檢測范式。

NanoCoulter? 單顆粒分析儀

CMP拋光傳統(tǒng)檢測（組合拳）

動態(tài)光散射（DLS）、Zeta電位儀、納米顆粒跟蹤分析（NTA）、掃描電鏡（SEM）等等技術及相關儀器，分別以不同原理和計算公式獲取包括磨粒粒徑分布、拋光液穩(wěn)定性、顆粒形貌、雜質(zhì)含量等在內(nèi)的關鍵參數(shù)。不同原理和技術需要不同儀器，對樣品要求各不相同（干、濕、濃度等）存在人工制樣偏差，非直接測量的等效理論（DLS假設磨粒為球形顆粒）存在固有偏差，離線檢測（SEM）無法捕捉動態(tài)變化（顆粒團聚、解聚）……

總結而言，傳統(tǒng)檢測存在固有缺陷，模型、人工、環(huán)境等導致的系統(tǒng)性誤差的累積很容易導致數(shù)據(jù)失真。

NanoCoulter? 單顆粒分析儀

傳統(tǒng)庫爾特計數(shù)器通過顆粒通過微孔時引起的電阻抗變化來推導出顆粒（橫截面）粒徑，以精準著稱，是眾多磨料生產(chǎn)和應用企業(yè)的必備裝備。但是傳統(tǒng)庫爾特計數(shù)器最大的局限在于，它使用的聚碳酸酯小孔管孔徑無法檢測1μm以下顆粒。

NanoCoulter? 單顆粒分析儀的技術突破具體體現(xiàn)在可實現(xiàn)對15nm起始尺寸顆粒的單顆粒級精確定量，分辨率高達1nm，數(shù)據(jù)精度媲美電鏡。

NanoCoulter? 單顆粒分析儀

NanoCoulter?的問世意味著在液相納米顆粒表征領域，首次實現(xiàn)“電鏡級精度+光學法速度+多參數(shù)同步”。在對CMP拋光液的深度分析中，對磨粒精準控制、工藝優(yōu)化和缺陷預防方面具有突破性價值。

關于瑞芯智造

瑞芯智造（深圳）科技有限公司是一家專注于納米單顆粒表征技術的國家高新技術企業(yè)，致力于為科研與產(chǎn)業(yè)用戶提供高分辨率、高準確性的納米顆粒分析解決方案。目前，瑞芯智造已服務數(shù)百家國內(nèi)外科研機構、企業(yè)及醫(yī)療單位，持續(xù)為納米尺度下的精準研究與產(chǎn)業(yè)升級賦能。

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