在半導(dǎo)體制造這一以精度著稱的尖端領(lǐng)域,其對工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品一致性有著極致要求,工藝的細(xì)微偏差都可能導(dǎo)致芯片性能的災(zāi)難性損失。因此為了確保工藝的穩(wěn)定性,不同于其他領(lǐng)域,碳化硅微粉制成的線鋸材料作為半導(dǎo)體晶圓切割的“工業(yè)手術(shù)刀”,其在半導(dǎo)體中的應(yīng)用目前仍沒有被替代的趨勢?!北菊局袊垠w工業(yè)萬里行所拜訪的連云港市沃鑫高新材料有限公司(以下簡稱"沃鑫")的黃威總經(jīng)理一針見血地指出這一本質(zhì)。而這一判斷背后,是沃鑫作為高純超細(xì)碳化硅微粉技術(shù)標(biāo)桿的產(chǎn)業(yè)實踐。
中國粉體工業(yè)萬里行團(tuán)隊與沃鑫黃威總經(jīng)理合影
沃鑫作為由連云港東渡碳化硅有限公司(以下簡稱“東渡”)與美國圣諾工業(yè)公司共同建立的合資企業(yè),其在誕生初始就奠定了公司在高純超細(xì)碳化硅微粉領(lǐng)域的國際聲譽(yù)。依托東渡從1992年沉淀至今的技術(shù)經(jīng)驗,沃鑫進(jìn)行了技術(shù)遷移,專注于高純超細(xì)碳化硅微粉的深加工環(huán)節(jié),并建成3萬噸高純碳化硅微粉年產(chǎn)能體系,產(chǎn)品70%以上遠(yuǎn)銷歐美、日韓、臺灣等國家和地區(qū)的高端市場,并得到了眾多頭部半導(dǎo)體客戶的廣泛認(rèn)可。不過,沃鑫卻未因此停止突破的步伐,面對全球產(chǎn)業(yè)鏈重構(gòu),沃鑫提出"三駕馬車"布局:不僅繼續(xù)聚焦半導(dǎo)體切割刃料領(lǐng)域,而且還計劃夯實傳統(tǒng)磨料磨具基礎(chǔ),并開拓碳化硅精密陶瓷賽道,建立三位一體的風(fēng)險對沖機(jī)制,同時沃鑫還將服務(wù)國際頭部企業(yè)的經(jīng)驗轉(zhuǎn)化為本土化服務(wù)能力,為國內(nèi)客戶提供高性能的材料解決方案。
技術(shù)壁壘:精準(zhǔn)卡斷、高一致性
沃鑫之所以有如此強(qiáng)大的底氣進(jìn)一步擴(kuò)大布局,源于其不可替代的技術(shù)壁壘。在技術(shù)路線上,沃鑫采用“溢流分級法”,并搭配純水系統(tǒng)實現(xiàn)物料的精細(xì)分級分離。具體來說,該技術(shù)是通過從錐形容器底部控制上升水流速度,來促使容器內(nèi)一定粒度的顆粒在重力與水流反作用力下達(dá)到懸浮平衡點(diǎn),并使得過細(xì)的顆粒會隨著水流溢出分級容器,過粗的顆粒在沉入下部錐體部分。目前,依托這套系統(tǒng)靈活調(diào)節(jié)流量,沃鑫支持提供從厘米級到亞微米級的全系列產(chǎn)品,同步實現(xiàn)粗細(xì)顆粒的精準(zhǔn)"卡斷"分離,粒度分布控制誤差范圍僅±0.5μm。此外,沃鑫還結(jié)合了酸堿提純工藝、破碎控制來精細(xì)控制顆粒純度及形貌,其中純度達(dá)到了可穩(wěn)定處于99.5%至99.8%的行業(yè)領(lǐng)先水平。
對于應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的碳化硅材料而言,性能優(yōu)異是一大亮點(diǎn),此外,產(chǎn)品一致性也對工藝控制至關(guān)重要,值得一提的是,在生產(chǎn)管理層面,沃鑫通過SPC統(tǒng)計過程控制體系,可在中控室實現(xiàn)對異常波動進(jìn)行全流程在線監(jiān)控及實時調(diào)整,確保每批次產(chǎn)品的高度一致性滿足半導(dǎo)體級切割的嚴(yán)苛要求。沃鑫黃總強(qiáng)調(diào),正是這種技術(shù)和管理深度確保了沃鑫產(chǎn)品在半導(dǎo)體線切割刃料應(yīng)用的持續(xù)領(lǐng)先優(yōu)勢。
產(chǎn)品矩陣:兼顧精密制造及傳統(tǒng)制造
沃鑫的碳化硅微粉產(chǎn)品線是其技術(shù)實力的直接體現(xiàn),覆蓋綠碳化硅微粉和黑碳化硅微粉兩大核心系列,廣泛應(yīng)用于多個工業(yè)領(lǐng)域。
1.綠碳化硅微粉:
以高硬度(莫氏硬度9.2-9.6)和優(yōu)異的切削能力而聞名,化學(xué)穩(wěn)定性好、導(dǎo)熱性強(qiáng),且微觀結(jié)構(gòu)為六方晶體,使其成為精密工藝的首選材料。2 主要應(yīng)用包括太陽能硅片、半導(dǎo)體硅片的線切割與研磨(如晶圓切片),石英芯片的精細(xì)處理,以及水晶和純粒鐵的精密拋光、陶瓷和特殊鋼以及高級珠寶玉器等的研磨,并且還能制造高級耐火材料、工程陶瓷、加熱元件和熱能元件等。
2.黑碳化硅微粉:
黑碳化硅微粉(B-SiC)則具備脆性鋒利的特點(diǎn),導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性優(yōu)異,主要服務(wù)于傳統(tǒng)制造業(yè),如固結(jié)磨具涂附磨具的制作、石材拋光以及抗張強(qiáng)度低的金屬加工。
3.碳化硅粒度砂
綠色碳化硅粒度砂,黑色碳化硅粒度砂以及耐磨材料混合砂,具有硬度高、導(dǎo)熱導(dǎo)電性能好、熱膨脹系數(shù)低的物理性能,常用于生產(chǎn)耐火材料,可根據(jù)客戶要求調(diào)整粒度分布及顆粒堆積密度。
小結(jié)
沃鑫作為一家國際知名的高純超細(xì)碳化硅微粉生產(chǎn)企業(yè),其意義遠(yuǎn)超單一產(chǎn)品供應(yīng)者——它象征著國產(chǎn)碳化硅材料技術(shù)的突破,如今這家扎根連云港的企業(yè),憑借在性能控制以及一致性控制上不可撼動的優(yōu)勢,不僅正在重塑國產(chǎn)碳化硅材料的全球地位,或許還將助力中國半導(dǎo)體切割領(lǐng)域擺脫對外依賴,推動中國制造由“跟跑”到“領(lǐng)跑”的轉(zhuǎn)型可能。
中國粉體工業(yè)萬里行
作者:粉體圈
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