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GB/T 42274-2022 氮化鋁材料中痕量元素（鎂、鎵）含量及分布的測定 二次離子質譜法

發布時間 | 2023-03-31 11:00 分類 | 行業標準 點擊量 | 1033
氮化鋁
導讀：本文件描述了氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的二次離子質譜測試方法。適用于氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的定量測定，測定范圍為鎂、鎵的含量均不小于1×1016 cm-3，元素含量（原子個數...

標準編號：GB/T 42274-2022

標準名稱：氮化鋁材料中痕量元素（鎂、鎵）含量及分布的測定 二次離子質譜法

起草單位：北京科技大學、中國科學院半導體研究所、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司、中國科學院青海鹽湖研究所、青海圣諾光電科技有限公司

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC2)

發布日期：2022-12-30

實施日期：2023-04-01

作者：粉體圈

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