相比小尺寸陶瓷基板主要用于低功率、微機電系統,大尺寸陶瓷基板更適合應用于高功率電子器件(如功率放大器)、高亮度LED(如大功率LED車燈)以及工程領域的高性能結構件和反應器件等。因此,大尺寸高純陶瓷基板是大功率集成電路、新能源IGBT、三代半導體、衛星等領域的關鍵器件。目前,國內小尺寸的陶瓷基板比較成熟,大尺寸高純氧化鋁陶瓷基板卻仍主要從日本、美國等進口。
大尺寸陶瓷基板的制備之所以這么難,主要是由于:對材料收縮率、致密度以及整體均勻性更敏感——成型難度大;基板的熱膨脹系數和熱應力等因素影響更大——燒結難度大;基板平整度、光潔度以及金屬化面臨更多挑戰——表面處理難度大,等等因素。
王雙喜教授領導的技術攻堅團隊發現,納米粉體可以顯著降低陶瓷材料的燒結溫度,用于流延陶瓷基板,可以有效控制基板變形及其顯微組織。5月13-14日,王雙喜教授將帶來題為“面向集成電路的大尺寸高純氧化鋁基板制造技術”的報告,重點介紹高純大尺寸氧化鋁陶瓷基板的流延制備工藝,并對相關成果的產業化進行了展望。具體內容包括:1)電子基板材料的發展趨勢;2)氧化鋁基板的研究現狀;3)“流延+溫壓”工藝制備大尺寸陶瓷基板;4)高純陶瓷基板產業化展望。
報告人簡介
王雙喜:汕頭大學工學院教授、汕頭輕工裝備研究院執行院長,是具有教授、教授級高工證書的雙師型教師,中國硅酸鹽學會特陶分會理事,廣東揚帆計劃高層次人才。本科畢業于北京航空學院材料系,碩士畢業于哈爾濱工業大學材料系,博士畢業于清華大學材料系。有10年以上的企業工作經驗,曾任企業總經理,主要從事材料精密成型工藝、輕工裝備的研究開發,主持課題26項,發表論文80余篇,其中被SCI收錄20多篇,EI收錄31篇;獲得國家發明專利授權40多件。獲得2019年度廣東省科技進步二等獎(1/10)、2020年度中國機械工業科學技術三等獎(2/10)、2021年度廣東省科技進步一等獎(3/15),是國家科技進步獎會評專家、科技部國際合作評審專家等。
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