7月9日,湖北鼎龍控股股份有限公司(鼎龍股份)發布公告,公司仙桃園區生產的多晶硅(Poly-Si)拋光液及氮化硅(SiN)拋光液產品(搭載仙桃自產研磨粒子)首次取得千萬元級批量訂單。
2022年6月29日,投資超10億元的鼎龍(仙桃)光電半導體材料產業園開工建設。值得一提的是,從鼎龍武漢本部的研發基地出發前往鼎龍(仙桃)光電半導體材料產業園只需要45分鐘車程;和仙桃產業園一墻之隔的湖北新藍天新材料股份有限公司,是一家生產有機硅交聯劑、偶聯劑、催化劑的新材料高新技術企業,能夠給鼎龍提供包括研磨粒子關鍵原材料在內的很多基礎原材料。
該項目年產1萬噸CMP拋光液(一期)及年產1萬噸CMP拋光液用配套納米研磨粒子產線自2023年11月竣工試生產后,經過公司高效的投料試產、工藝拉通,以及與客戶緊密的驗廠稽核、產線驗證等工作,目前已具備大批量穩定規模量產能力。
近期,經過國內某主流晶圓廠客戶嚴格的產品質量審核,仙桃園區生產的多晶硅(Poly-Si)拋光液及氮化硅(SiN)拋光液產品(搭載仙桃自產研磨粒子)首次取得千萬元級批量訂單。此外,公司上述拋光液產品在國內其他主流晶圓廠客戶同步驗證中,目前進展順利。
小貼士:
多晶硅(Poly-Si)和氮化硅(SiN)拋光液主要用于半導體制造和太陽能電池生產中的晶圓拋光工藝,磨料粒子主要是SiO?或Al?O?(溶膠),作用具體如光伏產業中使用多晶硅拋光液對硅片進行表面處理,以提高光電轉換效率和電池性能;半導體產業中使用氮化硅拋光液將用作掩膜層、絕緣層或保護層的氮化硅材料平整,確保晶圓表面的平整度和光滑度,滿足高精度制造要求。
目前,鼎龍股份全制程CMP拋光液產品的市場推廣持續進行,多款型號拋光液產品在客戶端的訂單需求持續上升,銅及阻擋層拋光液、介電層氧化鈰拋光液等產品的開發驗證預計也將在今年下半年取得進一步突破。
粉體圈 整理
作者:粉體圈
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