據同濟快訊，近日市場監管總局新批準二維鉻納米柵格標準物質、二維硅納米柵格標準物質、一維硅納米光柵標準物質3項國家一級標準物質。其中，二維鉻納米柵格標準物質是我國首次建立的納米級角度國家一級標準物質。上述材料由同濟大學物理科學與工程學院李同保院士、程鑫彬教授團隊研制，能夠同時滿足納米制造產業角度和長度校準需求，為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精準“標尺”。

編者注：

顧名思義，二維鉻納米柵格（2D Chromium Nanogrids）和二維硅納米柵格（2D Silicon Nanogrids） 是納米二維結構的鉻材料和硅材料；一維硅納米光柵（1D Silicon Nanogratings）是納米一維結構的硅材料。上述新材料在材料科學、光子學、傳感器和能源存儲等領域的應用前景廣闊，目前研究仍處于制備技術和應用探索階段。

分步沉積原子光刻技術方案

標準物質研制單位同濟大學相關專家介紹，二維鉻納米柵格標準物質突破性地采用分步沉積原子光刻技術，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數（鉻原子躍遷頻率），角度絕對準確性在0.001°量級，可應用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準，也可應用于對超精密位移傳感器多種參數的光柵干涉法校準。納米級角度標準物質的研制成功，實現了納米測量領域的扁平化計量，避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過在線校準直接將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場，為我國納米制造產業高質量發展提供有力支撐。

 研制高精度的納米級標準物質，是打造高準確度納米測量傳遞鏈，提升國產納米制造產品質量可靠性的關鍵。本次獲批的3項一級標準物質，是國家市場監督管理總局批準的研究成果，正在用于市場監管總局組織的首批國產掃描電子顯微鏡計量測試評價工作。該成果在國內實現了納米測量領域的扁平化計量，避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過在線校準將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場，為我國納米制造產業高質量發展提供有力支撐。

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