在粉體材料的研發和應用過程中，粒徑大小、分布狀態、Zeta電位等指標往往決定了最終材料的性能。如何精準、快速、可靠地掌握這些關鍵參數，是粉體產業鏈上游研發與下游應用的共同課題。

大塚電子株式會社（Otsuka Electronics），作為大塚集團旗下的重要科技企業，自1970年成立以來，始終以“用光學技術解決世界問題”為使命，走在光學測量與分析技術的前沿，形成了獨特而領先的技術體系，為醫療健康、生命科學、新材料、半導體等領域提供多種創新方案。

在10月13-18日出發的“日本粉體工業深度考察之旅”中，我們將走進大塚電子日本總部，近距離了解其最新一代檢測技術，觀摩儀器如何實現從稀溶液到高濃度體系、從納米顆粒到固體表面電位的精準測量。以下是產品亮點介紹：

一“光”出發，拓展粉體檢測的邊界

大塚電子的核心競爭力在于其光學測量平臺。通過散射光、光譜分析、膜厚測量等技術的不斷創新與融合，公司將“看不見的世界”以數據的方式清晰呈現出來。在粉體領域，這一能力尤為突出。核心產品包括：

1、ZETA電位與粒徑分析儀（ELSZneo / ELSZ-2000ZS）

l 可實現Zeta電位、平均粒徑、粒徑分布、分子量、固體表面電位等多維度測量。

l 支持稀溶液到高濃度溶液 的廣泛樣品范圍，甚至完全不透光樣品也可直接測量。

l 具備高鹽度條件下的電位測量能力，更貼近真實應用環境（如復雜分散體系）。

l 搭載高功率半導體激光與高感度探測器，多角度散射設計，顯著提升粒徑分辨率。

2、多樣品nano粒子徑測量系統（nanoSAQLA）

l 基于DLS動態光散射原理，搭配自動進樣機支持一次最多 50個樣品的自動化測量。

l 采用獨特設計避免樣品交叉污染，保證檢測結果的準確性與可重復性。

l 測量范圍覆蓋稀薄到高濃度溶液，適合研發與品控的高通量需求。

除了常規的粒徑、電位與分子量測量，大塚電子的檢測儀器還可深入到粉體體系穩定性的層面，如粒子濃度、凝膠網絡結構、微流變學黏彈性等。此外，大塚電子的此外，其光學技術在膜厚儀、分光光譜儀、光電材料評價等領域也保持領先，廣泛應用于半導體、顯示材料及光電功能材料。

二、典型應用：半導體CMP制程的關鍵檢測

為直觀展示大塚電子檢測平臺的應用價值，我們以半導體CMP制程為例。CMP（化學機械研磨）通過研磨液與機械力，將晶圓表面拋光平坦，確保后續層疊制程的良率與可靠性。隨著晶圓制程向更小線寬與復雜3D結構發展，研磨液中磨料粒徑與分布、界面電位、膜厚控制等參數愈發關鍵。大塚電子的檢測平臺，正好覆蓋了CMP工藝中的核心監控需求：

1、研磨液粒徑與電位監控（ELSZ系列）

CMP研磨液中粒徑分布與Zeta電位直接決定了拋光均勻度與表面缺陷控制。ELSZ 系列具備 高濃度、復雜鹽度環境下的粒徑與電位分析能力，能精準評估研磨液穩定性，避免因“粒徑偏差”導致的晶圓表面缺陷。

2、晶圓/Pad表面電位測量（固體表面電位量測）

大塚獨家技術可直接測量晶圓或研磨墊表面的電位，并模擬不同清潔液、研磨液條件下的交互作用。這對于理解“晶圓?研磨液”、“晶圓?清潔劑”的界面行為極為重要，有助于提升制程控制精度。

3、CMP實時膜厚監控（SF-3 光學膜厚儀）

CMP過程中，如何在μs 級別時間內實時掌握去除量，是業界難題。大塚的SF-3光學膜厚單元，可直接集成在CMP設備內部，實時監控厚度變化，甚至適用于Si、GaAs、GaN、SiC 等多種基材。這使得研磨過程不僅“看得見”，而且“控得住”。

4、研磨后膜厚分布評估（OPTM 分光膜厚顯微儀）

在CMP完成后，OPTM 系統能在0.1 nm 精度下對膜厚分布進行檢測，支持從紫外到近紅外的寬波段分析，并結合自動定位系統，確保產線快速、準確的質量管控。

總之，大塚電子不僅提供單臺檢測儀器，更能為CMP制程提供從研磨液到晶圓表面、從實時監控到最終驗證的全鏈路光學檢測解決方案。

三、應用領域與行業價值

憑借高精度與高可靠性的光學測量技術，大塚電子設備已深入應用于：

l 新材料研發：如功能陶瓷、復合材料、電子漿料等領域，支撐材料性能優化；

l 半導體與顯示：為行業提供膜厚、光學性能及顆粒污染控制等表征手段；

l 生物與制藥：粒徑、電位與分子量數據成為藥物遞送系統、納米制劑的重要評價依據；

l 粉體產業鏈：從基礎研究到生產監控，大塚電子的檢測方案幫助企業掌握粉體表征的核心參數。

四、為什么值得去現場參觀？

書面資料和產品參數可以讓我們理解大塚電子儀器的大致用途，但只有去到現場，才能能更直觀的體驗，如：

l 與技術人員面對面交流，了解不同儀器在實際應用中的差異與檢測手法的優化思路；

l 將自己企業的研發與生產需求，與大塚電子的解決方案進行對接，奠定合作基礎。

因此，對于深耕粉體產業的企業而言，這絕對是一次把握前沿檢測技術、鏈接實際應用需求的絕佳機會。歡迎加入我們，一起開啟這趟十月日本粉體工業深度考察之旅！

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