半導體產業作為現代電子信息技術的核心支撐領域，其裝備技術正隨著5G通信、人工智能和新能源汽車等產業的迅猛發展而不斷迭代升級，尤其對于高溫薄膜沉積、晶體生長、離子注入等先進半導體制造工藝中核心部件的耐高溫、抗腐蝕、抗熱震性能等提出了近乎苛刻的要求。

針對半導體制造領域的材料極限挑戰，先進陶瓷材料的戰略價值日益凸顯。以半導體薄膜沉積和高溫擴散等工藝中發揮基片承載和發熱作用的關鍵耗材——石墨件為例，其傳統應用中存在顯著的工藝痛點：在金屬有機物和腐蝕性氣體環境下，石墨材料極易發生表面腐蝕與粉塵剝離，不僅導致器件使用壽命大打折扣，更會因掉落的石墨微粒污染芯片表面，影響產品良率。而以具有高熱力學穩定性、良好的導熱性、抗氧化、耐腐蝕、與石墨材料相近的熱膨脹系數的碳化硅作為石墨件涂層材料，不僅能固定石墨件表面粉體、還能夠增強熱導率、均衡熱分布，為上述技術難題提供了開創性解決方案。

不過SiC涂層行業進入壁壘極高，具體體現在制造技術壟斷、開發驗證環節長、進入供應鏈難度大等方面，市場基本被美國、日本等發達國家壟斷，使得我國半導體行業遭遇嚴重的供應鏈安全隱患。在此背景下，深圳市志橙半導體材料股份有限公司經過不斷鉆研，在2021年憑借自主研發生產的CVD碳化硅產品，以2.02%的市占率首次進入全球Top10供應商行列，成為前十大廠商中唯一的中國廠商，也實現了我國在該領域的突破。

5月26-28日，于廣州舉辦的2025年先進陶瓷論壇上，粉體圈特邀深圳市志橙半導體材料股份有限公司的劉剛博士在現場上分享報告《碳化硅涂層石墨件的制備及其在半導體裝備的應用》，期望能夠助力推動半導體設備中碳化硅涂層石墨件的國產化應用。

報告人介紹

劉剛，高級工程師，中國科學院大學化學工程博士，華南理工大學博士后，四川大學化學工程學院產業導師。目前擔任深圳市志橙半導體材料股份有限公司研究院院長，負責戰略規劃及新產品開發工作。

一直從事化學工程與材料領域交叉學科，在國內外刊物發表文章20余篇及授權專利十余項，承擔多項省部級技術開發及產業化項目，具有豐富的半導體材料原理/機理研究、技術產品開發、成果轉化與市場產業化經驗。

廣州先進陶瓷論壇會務組