半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代電子信息技術(shù)的核心支撐領(lǐng)域，其裝備技術(shù)正隨著5G通信、人工智能和新能源汽車等產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展而不斷迭代升級(jí)，尤其對(duì)于高溫薄膜沉積、晶體生長(zhǎng)、離子注入等先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝中核心部件的耐高溫、抗腐蝕、抗熱震性能等提出了近乎苛刻的要求。

針對(duì)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的材料極限挑戰(zhàn)，先進(jìn)陶瓷材料的戰(zhàn)略價(jià)值日益凸顯。以半導(dǎo)體薄膜沉積和高溫?cái)U(kuò)散等工藝中發(fā)揮基片承載和發(fā)熱作用的關(guān)鍵耗材——石墨件為例，其傳統(tǒng)應(yīng)用中存在顯著的工藝痛點(diǎn)：在金屬有機(jī)物和腐蝕性氣體環(huán)境下，石墨材料極易發(fā)生表面腐蝕與粉塵剝離，不僅導(dǎo)致器件使用壽命大打折扣，更會(huì)因掉落的石墨微粒污染芯片表面，影響產(chǎn)品良率。而以具有高熱力學(xué)穩(wěn)定性、良好的導(dǎo)熱性、抗氧化、耐腐蝕、與石墨材料相近的熱膨脹系數(shù)的碳化硅作為石墨件涂層材料，不僅能固定石墨件表面粉體、還能夠增強(qiáng)熱導(dǎo)率、均衡熱分布，為上述技術(shù)難題提供了開(kāi)創(chuàng)性解決方案。

不過(guò)SiC涂層行業(yè)進(jìn)入壁壘極高，具體體現(xiàn)在制造技術(shù)壟斷、開(kāi)發(fā)驗(yàn)證環(huán)節(jié)長(zhǎng)、進(jìn)入供應(yīng)鏈難度大等方面，市場(chǎng)基本被美國(guó)、日本等發(fā)達(dá)國(guó)家壟斷，使得我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)遭遇嚴(yán)重的供應(yīng)鏈安全隱患。在此背景下，深圳市志橙半導(dǎo)體材料股份有限公司經(jīng)過(guò)不斷鉆研，在2021年憑借自主研發(fā)生產(chǎn)的CVD碳化硅產(chǎn)品，以2.02%的市占率首次進(jìn)入全球Top10供應(yīng)商行列，成為前十大廠商中唯一的中國(guó)廠商，也實(shí)現(xiàn)了我國(guó)在該領(lǐng)域的突破。

5月26-28日，于廣州舉辦的2025年先進(jìn)陶瓷論壇上，粉體圈特邀深圳市志橙半導(dǎo)體材料股份有限公司的劉剛博士在現(xiàn)場(chǎng)上分享報(bào)告《碳化硅涂層石墨件的制備及其在半導(dǎo)體裝備的應(yīng)用》，期望能夠助力推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備中碳化硅涂層石墨件的國(guó)產(chǎn)化應(yīng)用。

報(bào)告人介紹

劉剛，高級(jí)工程師，中國(guó)科學(xué)院大學(xué)化學(xué)工程博士，華南理工大學(xué)博士后，四川大學(xué)化學(xué)工程學(xué)院產(chǎn)業(yè)導(dǎo)師。目前擔(dān)任深圳市志橙半導(dǎo)體材料股份有限公司研究院院長(zhǎng)，負(fù)責(zé)戰(zhàn)略規(guī)劃及新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)工作。

一直從事化學(xué)工程與材料領(lǐng)域交叉學(xué)科，在國(guó)內(nèi)外刊物發(fā)表文章20余篇及授權(quán)專利十余項(xiàng)，承擔(dān)多項(xiàng)省部級(jí)技術(shù)開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，具有豐富的半導(dǎo)體材料原理/機(jī)理研究、技術(shù)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、成果轉(zhuǎn)化與市場(chǎng)產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)。

廣州先進(jìn)陶瓷論壇會(huì)務(wù)組