近日,日本JX金屬株式會社宣布,為了應對面向下一代半導體CVD(化學氣相沉積)、ALD(原子層沉積)工藝對應材料需求極速攀升,將繼續加強推進重要的鉬化合物產能擴大以保障供應。
JX金屬鉬化合物特寫
AI產業快速發展,數據中心和搭載AI的物聯網設備市場擴大,高性能半導體是支撐相關設備的關鍵硬件,其微細化和多層化是目前實現高集成度的主要途徑,而CVD、ALD薄膜需求便隨之上升。2024年2月,JX金屬已看到產業趨勢并就此設立部門,致力于實現相關材料的商業化,JX金屬于是新建了高純度CVD和ALD材料的量產線,并為客戶提供樣品,獲得好評(通過驗證)后,也做出了增強產能的決定。當年11月,JX金屬宣布已在德國生產基地啟動這些材料前驅體的生產。同時,也宣布將在日本本土進行擴產。
關于鉬化合物,相比傳統鎢前驅體材料的優勢主要體現在原子級鍍膜中實現低電阻、零污染、高填充三位一體性能,支撐AI芯片與3D存儲的微縮化演進。JX金屬表示,目前本土的茅崎工廠新建了生產線,已滿負荷運轉,同時茨城工廠也在加裝設備,為未來需求做準備,結合之前德國生產基地產能,已初步達成量產高純度鉬化合物等"芯片鍍膜原料"的目標,助力AI芯片突破技術瓶頸。
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作者:粉體圈
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