以二氧化鈰為核心的稀土拋光磨料因其硬度適中、反應(yīng)活性高、選擇性高而表現(xiàn)出具有更高的切削速度、拋光精度和表面光潔度，在半導(dǎo)體、光學(xué)元件、液晶顯示屏等高端制造領(lǐng)域不可替代——晶圓CMP是最典型的應(yīng)用。近些年來(lái)，全球電子產(chǎn)品（如智能手機(jī)、平板電腦、新能源汽車等）爆發(fā)式增長(zhǎng)，半導(dǎo)體市場(chǎng)大規(guī)模擴(kuò)張，這些都帶動(dòng)了稀土拋光材料需求的激增。

之前研究結(jié)果顯示，包括磨料顆粒的形貌、尺寸，在拋光液中的分散懸浮性能以及二氧化鈰Ce³⁺含量，上述因素皆對(duì)拋光去除率和表面粗糙度有著重要影響。因此，設(shè)計(jì)和開發(fā)新型高性能稀土拋光磨料，對(duì)其粒度、形貌進(jìn)行嚴(yán)格控制，并對(duì)其化學(xué)活性實(shí)現(xiàn)有效調(diào)控、抑制磨料顆粒間的團(tuán)聚來(lái)提高磨料分散懸浮穩(wěn)定性，是提升拋光效率和降低表面缺陷的重要途徑，也是實(shí)現(xiàn)稀土拋光材料高端化的重要方向。

在學(xué)界和業(yè)界有一些前沿和成功的案例，比如可以通過(guò)水熱合成、分級(jí)沉淀等技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)單分散，消除大顆粒影響；比如通過(guò)表面修飾、介質(zhì)調(diào)控使懸浮穩(wěn)定性大幅躍升；比如通過(guò)氣氛煅燒和摻雜提升Ce³⁺占比；還比如通過(guò)合成條件定向設(shè)計(jì)顆粒長(zhǎng)徑比、球形度等……包頭稀土研究院高級(jí)工程師、稀土拋光材料研究室李曉佩主任主要從事鈰基稀土拋光材料的設(shè)計(jì)制備、性能優(yōu)化及其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用研究，定于2025年7月24-25日在東莞喜來(lái)登大酒店舉辦2025年全國(guó)精密研磨拋光材料及加工技術(shù)發(fā)展論壇（第三屆）上，她將作題為“鈰基稀土拋光材料的可控制備及拋光性能調(diào)控”的報(bào)告，內(nèi)容直擊當(dāng)前我國(guó)拋光材料存在磨料粒度分布寬、分散性差，拋光液懸浮穩(wěn)定性差等痛點(diǎn)問(wèn)題，旨在為業(yè)界開發(fā)兼具應(yīng)用寬度和高度的高端拋光材料產(chǎn)品提供思路借鑒和方向參考。

報(bào)告人簡(jiǎn)介

李曉佩，包頭稀土研究院高級(jí)工程師、稀土拋光材料研究室主任。中國(guó)稀土學(xué)會(huì)稀土高性能制造專委會(huì)委員、中國(guó)化學(xué)會(huì)會(huì)員、內(nèi)蒙古稀土學(xué)會(huì)會(huì)員、九三學(xué)社包頭市委參政議政研究員。主持和參與各類科研項(xiàng)目十余項(xiàng)，其中主持內(nèi)蒙古自然科學(xué)基金1項(xiàng)、包頭市項(xiàng)目1項(xiàng)、北方稀土項(xiàng)目2項(xiàng)、包頭稀土研究院項(xiàng)目1項(xiàng)，參與國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目1項(xiàng)、內(nèi)蒙古科技重大專項(xiàng)2項(xiàng)、北方稀土項(xiàng)目2項(xiàng)。

發(fā)表期刊論文十余篇，申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利十余項(xiàng)。2024年獲內(nèi)蒙古自治區(qū)“英才興蒙”六層次人才稱號(hào)，2023年獲包頭市青年創(chuàng)新人才榮譽(yù)，獲得中國(guó)稀土學(xué)會(huì)優(yōu)秀報(bào)告2次，獲得包頭稀土研究院女職工雙文明建功立業(yè)先進(jìn)個(gè)人2次，獲得全國(guó)高分子學(xué)術(shù)論文報(bào)告會(huì)“優(yōu)秀墻報(bào)獎(jiǎng)”2次，獲得九三學(xué)社包頭市2024年度參政議政先進(jìn)個(gè)人。

東莞拋光論壇會(huì)務(wù)組