日前徐州市科技局傳來消息，2015年度的科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)名單出爐，由江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司完成的 “硅烷流化床顆粒硅高效沉積工藝及關(guān)鍵設(shè)備開發(fā)”項(xiàng)目獲得一等獎(jiǎng)。
流化床法的工藝簡(jiǎn)圖
硅烷流化床法是指，將硅烷通入加有小顆粒硅粉的流化床反應(yīng)爐內(nèi)進(jìn)行連續(xù)熱分解反應(yīng)，生成粒狀多晶硅。
該項(xiàng)目設(shè)計(jì)開發(fā)出大型、高壓流態(tài)化反應(yīng)器，單套產(chǎn)能達(dá)到3000噸/年，為世界最大的單套流化床顆粒硅生產(chǎn)裝置；采用碳化硅涂層技術(shù)，增加了內(nèi)襯的防磨蝕能力，減少了產(chǎn)品污染，提升了品質(zhì)，為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)，為同行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步起到了標(biāo)桿作用。
隨著流化床法在純度方面的困擾逐步解除，現(xiàn)有技術(shù)已完全具備低成本電子級(jí)硅料的生產(chǎn)能力。流化床法將有可能憑借其獨(dú)有的成本優(yōu)勢(shì)和純度保證，成為行業(yè)的下一個(gè)選擇。
（粉體圈 作者：郜白）
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