近日,東洋炭素(toyo tanso)宣布提高高純度石墨產品和碳化硅涂層石墨產品的生產能力,以滿足對硅半導體和化合物半導體的強勁需求SiC(碳化硅)半導體等應用。
由于物聯網、人工智能和電動汽車的發展推動了強勁的半導體需求。包括SiC半導體在內的Si半導體和化合物半導體的晶片制造工藝涉及1000℃以上的超高溫,半導體工藝的小型化進程就要求高純度石墨結構件,因而相關石墨產品的需求也正在上升。此外,高純度石墨產品還用于離子注入等半導體制造工藝,以及太陽能電池和光纖制造等各種應用。
高純石墨單晶片基片
其中,特別是對SiC半導體的需求隨著電動汽車和節能相關市場的增長而上升。SiC涂層石墨產品是一種各向同性石墨涂層,SiC薄膜可抑制從石墨基板產生的顆粒和氣體,它可用作硅半導體和SiC半導體的外延工藝中的組件,處理高電壓和大功率的功率半導體。
東洋炭素決定合計投資約70億日元,用于提高高純度石墨產品和SiC涂層石墨產品的產能以滿足市場需求,使2025年和2024年的高純石墨產品和碳化硅涂層石墨產品的產能分別比2022年增加約1.5倍。這些投資不僅是為了應對產量的增加,更是為了通過自動化等手段進一步追求品質,減少人力,提高生產效率。
編譯 YUXI
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作者:粉體圈
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