半導(dǎo)體的制造工序中，存在許多會(huì)產(chǎn)生等離子體的惡劣環(huán)境。因此如果構(gòu)成制造裝置的零部件不具有避免被等離子體腐蝕的特性，則可能會(huì)將雜質(zhì)混入半導(dǎo)體中，從而導(dǎo)致產(chǎn)生不良品。所以，與樹脂、玻璃、金屬相比，耐等離子體性更強(qiáng)的先進(jìn)陶瓷是更為合適的選擇。

用于半導(dǎo)體制程中的先進(jìn)陶瓷部件

近年來，在半導(dǎo)體零部件國產(chǎn)化發(fā)展的趨勢下，半導(dǎo)體設(shè)備精密陶瓷部件作為半導(dǎo)體制程中的關(guān)鍵部件，國內(nèi)需求正在大幅增長。可知先進(jìn)陶瓷部件作為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的關(guān)鍵部件，其成本已經(jīng)占到半導(dǎo)體設(shè)備成本的10%以上。

目前，氧化鋁、碳化硅、氮化鋁、氧化釔和堇青石等先進(jìn)陶瓷部件在半導(dǎo)體制造裝備中發(fā)揮關(guān)鍵作用，從而保障從起始單晶硅片的研磨拋光到最終芯片的出品。其中，作為最受歡迎的精密陶瓷材料，氧化鋁在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用可謂是“遍地開花”，涉及的應(yīng)用部件包括研磨拋光盤（載盤）、晶圓叉、導(dǎo)軌和工件臺(tái)等，目前主要采用干壓結(jié)合冷等靜壓工藝成型氧化鋁素坯。

如果您對(duì)相關(guān)先進(jìn)陶瓷部件的制備與產(chǎn)業(yè)化感興趣，在5月14日于廣州舉辦的CAC2023廣州國際先進(jìn)陶瓷展同期論壇“先進(jìn)陶瓷三大熱點(diǎn)應(yīng)用方向創(chuàng)新發(fā)展論壇”上，粉體圈將邀請(qǐng)上海硅酸鹽研究所的首席領(lǐng)軍研究員王士維博士發(fā)表題為《氧化鋁陶瓷在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用》的報(bào)告，為大家介紹漿料自發(fā)凝固技術(shù)成型大尺寸（?360-1000mm）氧化鋁載盤及載運(yùn)板（其中氧化鋁載盤實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代），感興趣的朋友請(qǐng)不要錯(cuò)過！

關(guān)于報(bào)告人

王士維，博士，現(xiàn)任上海硅酸鹽研究所首席領(lǐng)軍研究員，博士生導(dǎo)師，長期從事透明陶瓷和結(jié)構(gòu)陶瓷研究和工程化工作。先后主持了“863”計(jì)劃、重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題、基礎(chǔ)加強(qiáng)課題、科工局配套、國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)和面上、中科院重點(diǎn)部署、上海市光科技和企業(yè)委托研發(fā)等20余項(xiàng)。發(fā)表SCI論文210余篇，獲授權(quán)中國發(fā)明專利49項(xiàng)，制定國家建材行標(biāo) 1項(xiàng)和上海市企標(biāo)5項(xiàng)。

發(fā)明了晶粒定向織構(gòu)解決氧化鋁晶界雙折射新技術(shù)，成為提高低對(duì)稱性體系透明陶瓷透過率的通用方法，獨(dú)創(chuàng)的自發(fā)凝固成型體系具有有機(jī)物添加量低、環(huán)境友好、操作簡便特征，已被國內(nèi)外三十多家研究機(jī)構(gòu)用于成型各類先進(jìn)陶瓷。組織研制和生產(chǎn)的碳-石英復(fù)合材料和可見-中紅外透明陶瓷等部件已在“SZ”系列飛船和“奮斗者”潛器等十余種特種裝備中得到實(shí)際應(yīng)用；研發(fā)的大尺寸氧化鋁載盤和YAG透明陶瓷等六項(xiàng)成果已實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化。

曾獲得上海市技術(shù)發(fā)明和軍隊(duì)科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)兩項(xiàng)，以及日本陶瓷學(xué)會(huì)二十一世紀(jì)個(gè)人交流冠名獎(jiǎng)“井關(guān)孝善”獎(jiǎng)、中國科學(xué)院載人航天優(yōu)秀工作者、國務(wù)院政府特殊津貼、上海市優(yōu)秀技術(shù)帶頭人等榮譽(yù)和稱號(hào)。主要社會(huì)兼職有：中國空間科學(xué)學(xué)會(huì)理事，中國硅酸鹽學(xué)會(huì)特種陶瓷分會(huì)副秘書長，國際發(fā)光大會(huì)（ICL）組委員會(huì)委員，Journal of Asian Ceramics Society 和硅酸鹽通報(bào)副主編。

CAC同期論壇會(huì)務(wù)組

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