成都旭光電子股份有限公司（旭光電子）日前發布的2023年半年度報告披露，其控股的成都旭瓷新材料有限公司（成都旭瓷）上半年實現氮化鋁粉體連續爐順利投產和規模化穩定量產，2023年預計可以實現氮化鋁粉體年化產能240-300噸，解決了目前國內氮化鋁粉體主要從日本進口的“卡脖子”問題。

氧化鋁碳熱還原法，是以超細氧化鋁粉和高純度碳黑粉作為反應原料，經過球磨混合均勻后，比表面積增大，然后在氮氣氛圍中反應4-10小時，被還原出的鋁與氮氣作用，生成氮化鋁。著名的日本德山公司、美國DOW化學等領先廠家均采用了氧化鋁碳熱還原法生產氮化鋁。

我國的氮化鋁粉生產大多使用間歇式燒結爐進行粉體制備，這就導致產品在批次穩定性上與日本進口產品存在一定差距，也造成粉體原材料的高端應用局限。成都旭瓷在2022年進行并完成了連續式燒結爐的設備調試工作，并開始加大氮化鋁產能建設，進入產能爬坡加速期。立足于此，旭光電子表示將加快項目進度建設和實現產品規模化量產大力推進氮化鋁基板、HTCC及結構件等產品的關鍵技術攻關，以高品質產品回應市場需求。

1、氮化鋁粉體

隨著氮化鋁粉體連續爐的穩定運行及生產工藝優化定型，公司氮化鋁粉體產能持續增長，當前公司氮化鋁粉體年化產能已達240噸、產品良率 85%以上，并在縮短生產周期、降低能耗、提高生產效率、降低單位成本等方面取得顯著成效。

2、氮化鋁基板

完成了7條流延生產線的工藝調試和投產，目前已實現年化產能300萬片、產品良率達80%以上，下階段將隨著工藝技術的優化和生產穩定運行，產能和良率將會進一步提升；同時，公司自主創新的即燒結技術、高精度流延技術、超高熱導技術和大尺寸結構件燒結技術，大幅提高了氮化鋁陶資材料生產效率，解決傳統氮化鋁陶瓷材料生產過程中設備電耗高和工藝氣體消耗量大等問題，產品質量達國際先進水平，目前已在下游應用端的二十余家企業進行了驗證及實現供貨，已成為國內氮化鋁基板主要供應商。

3、氮化鋁HTCC

完成了自主原材料配方體系的開發、自主漿料體系的開發，小試產品通過了部分國內外客戶認證，十余家客戶已納入合格供應商名單，預計年底前可實現批量出貨，目前年化產能已達5萬片。

4、氮化鋁結構件

一期項目設計產能已達產，產品已通過了國內部分客戶認證，公司所生產的大尺寸結構件已廣泛應用于半導體產業的光刻工藝、刻蝕工藝、薄膜工藝、離子注入等工藝中，目前公司產品已經進入半導體設備的核心產業鏈；此外，公司與中科院某研究所聯合開展“半導體用高超精密陶瓷部件”研制攻關，為加速半導體用靜電卡盤與加熱盤的國產化進程貢獻企業力量。

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