成都旭光電子股份有限公司（旭光電子）日前發(fā)布的2023年半年度報(bào)告披露，其控股的成都旭瓷新材料有限公司（成都旭瓷）上半年實(shí)現(xiàn)氮化鋁粉體連續(xù)爐順利投產(chǎn)和規(guī)模化穩(wěn)定量產(chǎn)，2023年預(yù)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)氮化鋁粉體年化產(chǎn)能240-300噸，解決了目前國(guó)內(nèi)氮化鋁粉體主要從日本進(jìn)口的“卡脖子”問(wèn)題。

氧化鋁碳熱還原法，是以超細(xì)氧化鋁粉和高純度碳黑粉作為反應(yīng)原料，經(jīng)過(guò)球磨混合均勻后，比表面積增大，然后在氮?dú)夥諊蟹磻?yīng)4-10小時(shí)，被還原出的鋁與氮?dú)庾饔茫傻X。著名的日本德山公司、美國(guó)DOW化學(xué)等領(lǐng)先廠家均采用了氧化鋁碳熱還原法生產(chǎn)氮化鋁。

我國(guó)的氮化鋁粉生產(chǎn)大多使用間歇式燒結(jié)爐進(jìn)行粉體制備，這就導(dǎo)致產(chǎn)品在批次穩(wěn)定性上與日本進(jìn)口產(chǎn)品存在一定差距，也造成粉體原材料的高端應(yīng)用局限。成都旭瓷在2022年進(jìn)行并完成了連續(xù)式燒結(jié)爐的設(shè)備調(diào)試工作，并開(kāi)始加大氮化鋁產(chǎn)能建設(shè)，進(jìn)入產(chǎn)能爬坡加速期。立足于此，旭光電子表示將加快項(xiàng)目進(jìn)度建設(shè)和實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品規(guī)模化量產(chǎn)大力推進(jìn)氮化鋁基板、HTCC及結(jié)構(gòu)件等產(chǎn)品的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，以高品質(zhì)產(chǎn)品回應(yīng)市場(chǎng)需求。

1、氮化鋁粉體

隨著氮化鋁粉體連續(xù)爐的穩(wěn)定運(yùn)行及生產(chǎn)工藝優(yōu)化定型，公司氮化鋁粉體產(chǎn)能持續(xù)增長(zhǎng)，當(dāng)前公司氮化鋁粉體年化產(chǎn)能已達(dá)240噸、產(chǎn)品良率 85%以上，并在縮短生產(chǎn)周期、降低能耗、提高生產(chǎn)效率、降低單位成本等方面取得顯著成效。

2、氮化鋁基板

完成了7條流延生產(chǎn)線的工藝調(diào)試和投產(chǎn)，目前已實(shí)現(xiàn)年化產(chǎn)能300萬(wàn)片、產(chǎn)品良率達(dá)80%以上，下階段將隨著工藝技術(shù)的優(yōu)化和生產(chǎn)穩(wěn)定運(yùn)行，產(chǎn)能和良率將會(huì)進(jìn)一步提升；同時(shí)，公司自主創(chuàng)新的即燒結(jié)技術(shù)、高精度流延技術(shù)、超高熱導(dǎo)技術(shù)和大尺寸結(jié)構(gòu)件燒結(jié)技術(shù)，大幅提高了氮化鋁陶資材料生產(chǎn)效率，解決傳統(tǒng)氮化鋁陶瓷材料生產(chǎn)過(guò)程中設(shè)備電耗高和工藝氣體消耗量大等問(wèn)題，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平，目前已在下游應(yīng)用端的二十余家企業(yè)進(jìn)行了驗(yàn)證及實(shí)現(xiàn)供貨，已成為國(guó)內(nèi)氮化鋁基板主要供應(yīng)商。

3、氮化鋁HTCC

完成了自主原材料配方體系的開(kāi)發(fā)、自主漿料體系的開(kāi)發(fā)，小試產(chǎn)品通過(guò)了部分國(guó)內(nèi)外客戶認(rèn)證，十余家客戶已納入合格供應(yīng)商名單，預(yù)計(jì)年底前可實(shí)現(xiàn)批量出貨，目前年化產(chǎn)能已達(dá)5萬(wàn)片。

4、氮化鋁結(jié)構(gòu)件

一期項(xiàng)目設(shè)計(jì)產(chǎn)能已達(dá)產(chǎn)，產(chǎn)品已通過(guò)了國(guó)內(nèi)部分客戶認(rèn)證，公司所生產(chǎn)的大尺寸結(jié)構(gòu)件已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的光刻工藝、刻蝕工藝、薄膜工藝、離子注入等工藝中，目前公司產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備的核心產(chǎn)業(yè)鏈；此外，公司與中科院某研究所聯(lián)合開(kāi)展“半導(dǎo)體用高超精密陶瓷部件”研制攻關(guān)，為加速半導(dǎo)體用靜電卡盤(pán)與加熱盤(pán)的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程貢獻(xiàn)企業(yè)力量。

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