成都旭光電子股份有限公司（旭光電子）日前發(fā)布的2023年半年度報告披露，其控股的成都旭瓷新材料有限公司（成都旭瓷）上半年實現(xiàn)氮化鋁粉體連續(xù)爐順利投產(chǎn)和規(guī)模化穩(wěn)定量產(chǎn)，2023年預計可以實現(xiàn)氮化鋁粉體年化產(chǎn)能240-300噸，解決了目前國內(nèi)氮化鋁粉體主要從日本進口的“卡脖子”問題。

氧化鋁碳熱還原法，是以超細氧化鋁粉和高純度碳黑粉作為反應原料，經(jīng)過球磨混合均勻后，比表面積增大，然后在氮氣氛圍中反應4-10小時，被還原出的鋁與氮氣作用，生成氮化鋁。著名的日本德山公司、美國DOW化學等領先廠家均采用了氧化鋁碳熱還原法生產(chǎn)氮化鋁。

我國的氮化鋁粉生產(chǎn)大多使用間歇式燒結爐進行粉體制備，這就導致產(chǎn)品在批次穩(wěn)定性上與日本進口產(chǎn)品存在一定差距，也造成粉體原材料的高端應用局限。成都旭瓷在2022年進行并完成了連續(xù)式燒結爐的設備調(diào)試工作，并開始加大氮化鋁產(chǎn)能建設，進入產(chǎn)能爬坡加速期。立足于此，旭光電子表示將加快項目進度建設和實現(xiàn)產(chǎn)品規(guī)模化量產(chǎn)大力推進氮化鋁基板、HTCC及結構件等產(chǎn)品的關鍵技術攻關，以高品質(zhì)產(chǎn)品回應市場需求。

1、氮化鋁粉體

隨著氮化鋁粉體連續(xù)爐的穩(wěn)定運行及生產(chǎn)工藝優(yōu)化定型，公司氮化鋁粉體產(chǎn)能持續(xù)增長，當前公司氮化鋁粉體年化產(chǎn)能已達240噸、產(chǎn)品良率 85%以上，并在縮短生產(chǎn)周期、降低能耗、提高生產(chǎn)效率、降低單位成本等方面取得顯著成效。

2、氮化鋁基板

完成了7條流延生產(chǎn)線的工藝調(diào)試和投產(chǎn)，目前已實現(xiàn)年化產(chǎn)能300萬片、產(chǎn)品良率達80%以上，下階段將隨著工藝技術的優(yōu)化和生產(chǎn)穩(wěn)定運行，產(chǎn)能和良率將會進一步提升；同時，公司自主創(chuàng)新的即燒結技術、高精度流延技術、超高熱導技術和大尺寸結構件燒結技術，大幅提高了氮化鋁陶資材料生產(chǎn)效率，解決傳統(tǒng)氮化鋁陶瓷材料生產(chǎn)過程中設備電耗高和工藝氣體消耗量大等問題，產(chǎn)品質(zhì)量達國際先進水平，目前已在下游應用端的二十余家企業(yè)進行了驗證及實現(xiàn)供貨，已成為國內(nèi)氮化鋁基板主要供應商。

3、氮化鋁HTCC

完成了自主原材料配方體系的開發(fā)、自主漿料體系的開發(fā)，小試產(chǎn)品通過了部分國內(nèi)外客戶認證，十余家客戶已納入合格供應商名單，預計年底前可實現(xiàn)批量出貨，目前年化產(chǎn)能已達5萬片。

4、氮化鋁結構件

一期項目設計產(chǎn)能已達產(chǎn)，產(chǎn)品已通過了國內(nèi)部分客戶認證，公司所生產(chǎn)的大尺寸結構件已廣泛應用于半導體產(chǎn)業(yè)的光刻工藝、刻蝕工藝、薄膜工藝、離子注入等工藝中，目前公司產(chǎn)品已經(jīng)進入半導體設備的核心產(chǎn)業(yè)鏈；此外，公司與中科院某研究所聯(lián)合開展“半導體用高超精密陶瓷部件”研制攻關，為加速半導體用靜電卡盤與加熱盤的國產(chǎn)化進程貢獻企業(yè)力量。

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