東洋炭素宣布斥資70億日元追加擴產(chǎn)半導(dǎo)體級TaC涂層石墨

發(fā)布時間 | 2024-02-20 15:32 分類 | 行業(yè)要聞點擊量 | 1285

石墨碳化硅

導(dǎo)讀：?2月16日，東洋炭素（toyo tanso）宣布將決定投資約70億日元提升用于SiC功率半導(dǎo)體的SiC（碳化硅）和TaC（碳化鉭）涂層高性能石墨產(chǎn)能，在去年4月宣布擴產(chǎn)相關(guān)產(chǎn)品產(chǎn)能的基礎(chǔ)上追加擴產(chǎn)。

2月16日，東洋炭素（toyo tanso）宣布將決定投資約70億日元提升用于SiC功率半導(dǎo)體的SiC（碳化硅）和TaC（碳化鉭）涂層高性能石墨產(chǎn)能，在去年4月宣布擴產(chǎn)相關(guān)產(chǎn)品產(chǎn)能的基礎(chǔ)上追加擴產(chǎn)。

東洋炭素認(rèn)為，中長期內(nèi)SiC功率半導(dǎo)體的需求將保持旺盛，因此用于外延工藝（SiC晶圓制造工藝）的SiC和TaC涂層石墨產(chǎn)品的需求將持續(xù)增加。雖然去年4月已決定增加TaC涂層石墨產(chǎn)品的產(chǎn)能——根據(jù)該計劃，將在2025年投產(chǎn)并且產(chǎn)能翻倍（與2023財年相比）；但為了應(yīng)對不斷增長的需求，本次追加產(chǎn)能后，東洋炭素的SiC 涂層產(chǎn)品加工能力將增加約兩倍（與2023財年相比），TaC涂層加工能力將增加六倍（與2023財年相比）。