東洋炭素宣布斥資70億日元追加擴產半導體級TaC涂層石墨

發布時間 | 2024-02-20 15:32 分類 | 行業要聞點擊量 | 1155

石墨碳化硅

導讀：?2月16日，東洋炭素（toyo tanso）宣布將決定投資約70億日元提升用于SiC功率半導體的SiC（碳化硅）和TaC（碳化鉭）涂層高性能石墨產能，在去年4月宣布擴產相關產品產能的基礎上追加擴產。

2月16日，東洋炭素（toyo tanso）宣布將決定投資約70億日元提升用于SiC功率半導體的SiC（碳化硅）和TaC（碳化鉭）涂層高性能石墨產能，在去年4月宣布擴產相關產品產能的基礎上追加擴產。

東洋炭素認為，中長期內SiC功率半導體的需求將保持旺盛，因此用于外延工藝（SiC晶圓制造工藝）的SiC和TaC涂層石墨產品的需求將持續增加。雖然去年4月已決定增加TaC涂層石墨產品的產能——根據該計劃，將在2025年投產并且產能翻倍（與2023財年相比）；但為了應對不斷增長的需求，本次追加產能后，東洋炭素的SiC 涂層產品加工能力將增加約兩倍（與2023財年相比），TaC涂層加工能力將增加六倍（與2023財年相比）。