溯源

硅酸酯通式為Si(OR)?，其中R主要指代烷基（有時(shí)也指代芳基），它是日本FUJIMI制備超純硅溶膠的主要原料，即當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)CMP拋光液的范式基礎(chǔ)。據(jù)廠商和相關(guān)實(shí)驗(yàn)研究數(shù)據(jù)顯示，F(xiàn)UJIMI的超純硅溶膠產(chǎn)品純度可達(dá)99.9999%（6N級(jí)）甚至更高，這使其關(guān)鍵金屬離子（如Na?、K?、Ca2?、Fe3?）含量低于10ppb，滿足先進(jìn)制程的要求。

相關(guān)閱讀：CMP拋光的起源與創(chuàng)新（磨料進(jìn)化篇）

突破

日本FUJIMI之所以是業(yè)界公認(rèn)半導(dǎo)體CMP拋光液的全球領(lǐng)導(dǎo)者，主要其超純膠體二氧化硅（硅溶膠）制備技術(shù)和量產(chǎn)能力的領(lǐng)先。半導(dǎo)體行業(yè)追求清潔度是為了減少CMP后晶圓上的納米缺陷數(shù)量，即便FUJIMI在1985年引入基于醇鹽的超純二氧化硅后，仍持續(xù)不斷進(jìn)行減少拋光漿料污染的研究——提升硅溶膠純度最直接方式無(wú)疑是提升硅酸酯的純度。粉體圈近日獲悉，中化學(xué)華陸新材料有限公司（華陸新材）自研的硅酸酯制備技術(shù)在生產(chǎn)上取得了突破性進(jìn)展，能夠穩(wěn)定生產(chǎn)出純度達(dá)到4N級(jí)的產(chǎn)品，且已掌握將其提純至8N的工藝，正在準(zhǔn)備中試提純產(chǎn)線。這意味著國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體CMP拋光液已滿足達(dá)成世界最高水平的關(guān)鍵前提。

目前，經(jīng)過(guò)先進(jìn)的合成技術(shù)和嚴(yán)格的質(zhì)量控制，華陸新材已成功實(shí)現(xiàn)高達(dá)6N級(jí)的純度的硅溶膠，10-200nm之間高圓整度二氧化硅顆粒的制備。這意味著公司已經(jīng)可以提供粒徑分布極為均勻、顆粒形狀接近完美的二氧化硅顆粒，用于滿足精密研磨的嚴(yán)格要求。

產(chǎn)品及應(yīng)用

華陸新材已實(shí)現(xiàn)20nm-500nm范圍內(nèi)硅溶膠的可控制備

華陸新材高純硅溶膠除半導(dǎo)體制造，也廣泛應(yīng)用于光學(xué)器件的拋光，航空航天材料的加工等領(lǐng)域。

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域：在芯片制造過(guò)程中，硅片的平整度和光潔度對(duì)最終產(chǎn)品的性能至關(guān)重要。高純硅溶膠能夠提供優(yōu)異的拋光效果，提高芯片的良品率和性能穩(wěn)定性。

光學(xué)器件加工：光學(xué)鏡頭和顯示器件的表面質(zhì)量直接影響其光學(xué)性能。采用高純硅溶膠進(jìn)行拋光，可以最大限度地減少表面缺陷，提高產(chǎn)品的光學(xué)性能和使用壽命。

航空航天材料加工：高純硅溶膠在航空航天領(lǐng)域同樣表現(xiàn)出色。其可用于高精度零部件的表面處理，確保在極端環(huán)境下依然保持高性能和長(zhǎng)使用壽命。

結(jié)語(yǔ)

自2020年成立以來(lái)，秉承著科技創(chuàng)新、綠色環(huán)保的發(fā)展理念，華陸新材迅速成長(zhǎng)為硅基新材料領(lǐng)域的新星企業(yè)，專注于研發(fā)和生產(chǎn)以有機(jī)硅為基礎(chǔ)的各種新材料，產(chǎn)品線涵蓋從氣凝膠到硅溶膠，這些材料在電子、光學(xué)、涂料、建筑、化工等多個(gè)行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用前景。

為了更好地契合下游客戶的需求，華陸新材正積極尋找有實(shí)力的合作伙伴，共同探索高純硅溶膠的更多應(yīng)用潛力。華陸新材認(rèn)為通過(guò)合作開(kāi)發(fā)，公司能夠推出更多高端化的研磨液產(chǎn)品，進(jìn)一步提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

關(guān)于華陸新材

2021年，中國(guó)化學(xué)提出打造“兩商”的戰(zhàn)略：工業(yè)工程領(lǐng)域綜合解決方案服務(wù)商、高端化學(xué)品和先進(jìn)材料供應(yīng)商。化學(xué)工業(yè)部第六設(shè)計(jì)院作為華陸工程科技有限責(zé)任公司前身，成功引入戰(zhàn)略投資方萬(wàn)華化學(xué)集團(tuán)股份有限公司，形成中國(guó)化學(xué)、萬(wàn)華化學(xué)和員工持股平臺(tái)的三元股權(quán)結(jié)構(gòu)，順利完成混合所有制改革，企業(yè)發(fā)展呈現(xiàn)嶄新面貌、迸發(fā)全新活力。

中化學(xué)華陸新材料有限公司是中國(guó)化學(xué)華陸工程科技有限責(zé)任公司貫徹國(guó)家發(fā)展戰(zhàn)略，聚焦基礎(chǔ)戰(zhàn)略性前沿新材料領(lǐng)域，踐行中國(guó)化學(xué)“兩商”布局，投資成立的新材料研發(fā)生產(chǎn)銷(xiāo)售企業(yè)，公司從自身實(shí)際情況出發(fā)，關(guān)注企業(yè)痛點(diǎn)難點(diǎn)問(wèn)題，努力為客戶提供一體化的材料解決方案。

粉體圈郜白