7月14日，江蘇天晶智能裝備有限公司宣布，其自主研發的12英寸藍寶石襯底與載體晶圓同步實現規模化量產，年產能10萬片，良率超97%。該突破標志著我國首次在大尺寸藍寶石材料領域完成"襯底+裝備"全鏈條國產化，打破國外壟斷，技術實力躍升全球第一梯隊。

全自主裝備鏈支撐產業升級，核心成果指標國際領先

據悉，此次12英寸藍寶石襯底的量產依托于天晶智能構建的自主裝備鏈，徹底擺脫對進口設備的依賴：其自主研發的TJ320型超高速多線切割機，配合超高速金剛石線切割技術，可將切割效率提升300%，良率穩定在98%以上，并使外延缺陷降低80%，提升LED發光效率。同時，其他關鍵參數可達國際領先水平：直徑精度300±0.5毫米、表面粗糙度僅為0.2納米、位錯密度≤500 cm?2，耐2050℃高溫，滿足GaN外延與Micro-LED高端器件需求；

賦能戰略產業創新，掌握第三代半導體戰略主動權

該成果有望推動三大領域升級：用其作為襯底的12英寸GaN功率器件可使新能源汽車電驅系統能效提升15%；在AR/VR領域，高折射率襯底（n=2.7）能將光波導視場角擴大40%，推動AR眼鏡光機體積縮小一半；在量子科技領域，超低缺陷襯底為量子芯片與高能激光窗口提供極端環境下的光學穩定性。此外，天晶半導體也已啟動12英寸圖形化藍寶石襯底（PSS）研發，瞄準千億級Micro-LED市場，18英寸兼容切割設備也進入工程驗證階段，有望使我國在第三代半導體競爭中掌握戰略主動權。

來源：投影時代