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T/CASAS 048-2025 碳化硅單晶生長用等靜壓石墨

發(fā)布時間 | 2025-08-01 14:46 分類 | 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 點擊量 | 262
石墨 碳化硅
導(dǎo)讀：本文件按照GB/T 1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。

標(biāo)準(zhǔn)編號：T/CASAS 048-2025

標(biāo)準(zhǔn)名稱：碳化硅單晶生長用等靜壓石墨

起草單位：賽邁科先進(jìn)材料股份有限公司、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司、山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司、山西爍科品體有限公司、山東大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中電化合物半導(dǎo)體有限公司、杭州海乾半導(dǎo)體有限公司、北京第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟。

發(fā)布日期：2025-04-23

實施日期：2025-04-23

作者：粉體圈

總閱讀量：262