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標準編號:T/CASAS 048-2025
標準名稱:碳化硅單晶生長用等靜壓石墨
起草單位:賽邁科先進材料股份有限公司、北京北方華創微電子裝備有限公司、湖南三安半導體有限責任公司、山東天岳先進科技股份有限公司、山西爍科品體有限公司、山東大學、中國科學院半導體研究所、中電化合物半導體有限公司、杭州海乾半導體有限公司、北京第三代半導體產業技術創新戰略聯盟。
發布日期:2025-04-23
實施日期:2025-04-23
作者:粉體圈
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