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T/CASAS 048-2025 碳化硅單晶生長用等靜壓石墨

發布時間 | 2025-08-01 14:46 分類 | 行業標準 點擊量 | 118
石墨 碳化硅
導讀:本文件按照GB/T 1.1-2020《標準化工作導則第1部分:標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。

標準編號:T/CASAS 048-2025

標準名稱:碳化硅單晶生長用等靜壓石墨

起草單位:賽邁科先進材料股份有限公司、北京北方華創微電子裝備有限公司、湖南三安半導體有限責任公司、山東天岳先進科技股份有限公司、山西爍科品體有限公司、山東大學、中國科學院半導體研究所、中電化合物半導體有限公司、杭州海乾半導體有限公司、北京第三代半導體產業技術創新戰略聯盟。

發布日期:2025-04-23

實施日期:2025-04-23

作者:粉體圈

總閱讀量:118