京瓷開發(fā)了一種可以將藍寶石連接到藍寶石,或者藍寶石連接到氧化鋁陶瓷的直接鍵合技術(shù),這種技術(shù)可以更好利用藍寶石和氧化鋁陶瓷的高強、穩(wěn)定、透明特性,以在如半導(dǎo)體、生物分析、應(yīng)用物理等高精尖領(lǐng)域得到充分應(yīng)用。
1、流動池(Flow Cell)

流動池是一種利用光學(xué)檢查氣液雜質(zhì)的半透明通道。由于通常暴露在腐蝕性化學(xué)物質(zhì)中,并且需要利于光的傳輸,通常需要用藍寶石材料制備。這種流動池常常用于半導(dǎo)體清洗、血液樣本分析、精細結(jié)構(gòu)分析的過程中。
2、管路

在半導(dǎo)體制造和分析中,由藍寶石制成的橢圓管路可用于通過腐蝕性氣體;另外還可以利用其高絕緣、低介電損耗特性,在管路中產(chǎn)生等離子體。
3、窗口

藍寶石從紫外線到紅外線的波長范圍內(nèi)都呈透明,所以非常適合做窗口,并且由于它的強度高于其他透明材料,所以便于靈活制備超薄窗口組件。再加上藍寶石的等離子抗性和耐腐蝕性,可用在半導(dǎo)體和液晶面板制造的全流程中。
4、電子束波導(dǎo)管

這是一種內(nèi)部有流通通道的長板,用于電子加速器。通過藍寶石鍵合技術(shù)形成高度密封的長管,可以在真空中使用,而電極置于外部用于電子束加速。
5、微通道

由內(nèi)置通道的陶瓷和藍寶石蓋板粘合而成,陶瓷表面可以形成幾百納米的淺溝道,用于液體樣品的反應(yīng)觀察和痕量物質(zhì)分析。由于高度耐腐蝕,基本可以用于所有化學(xué)品,設(shè)計好所需的通道,就可以觀察液體流動的路徑。
編譯整理YUXI
作者:粉體圈
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