GB/T 1555-2023 半導體單晶晶向測定方法

發布時間 | 2023-12-29 15:45 分類 | 行業標準點擊量 | 777

導讀：本文件描述了X射線衍射定向和光圖定向測定半導體單晶晶向的方法。本文件適用于半導體單晶晶向的測定。X射線衍射定向法適用于測定硅、鍺、砷化鎵、碳化硅、氧化鎵、氮化鎵、銻化銦和磷化銦等大...

標準編號：GB/T 1555-2023

標準名稱：半導體單晶晶向測定方法

起草單位：中國電子科技集團公司第四十六研究所、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研國晶輝新材料有限公司、浙江海納半導體股份有限公司、哈爾濱科友半導體產業裝備與技術研究院有限公司、云南馳宏國際鍺業有限公司、北京通美晶體技術股份有限公司、浙江旭盛電子有限公司、中國電子科技集團公司第十三研究所、丹東新東方晶體儀器有限公司、國標(北京)檢驗認證有限公司、新美光(蘇州)半導體科技有限公司。

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)

發布日期：2023-08-06

實施日期：2024-03-01