旭化成于6月12日宣布,其子公司美國Crystal IS開發和制造的4英寸(100毫米)氮化鋁(AlN)單晶晶圓質量有所提高,將于2024年度下半年開始向國內外半導體設備制造商提供樣品。

左側是過去開發的可用面積為 90% 的氮化鋁晶圓,右側是經過進一步改進后可用面積增至 99.3% 的氮化鋁晶圓(來源:旭化成)
AlN與SiC和GaN一樣,是一種廣為人知的寬禁帶半導體,預計將用于下一代功率器件。然而,其制造需要在超過2000℃的升華爐內部進行精確的溫度控制,這使得晶圓尺寸的增大變得困難。自1997年成立以來,Crystal IS一直致力于大直徑AlN晶圓的研發,并在2023年8月宣布成功開發了4英寸晶圓。
此次提供樣品的決定,是基于4英寸晶圓質量的提升,晶圓面積的99%以上已被確認可用。公司通過使用這些晶圓制造UV-C LED的方式進行了驗證。旭化成還指出,在樣品提供的初期階段,樣品數量將有限。
粉體圈 Coco 編譯
作者:Coco
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