標準編號：T/CASAS 032-2023
標準名稱：碳化硅晶片表面金屬元素含量的測定電感耦合等離子體質譜法
起草單位：山東大學、廣州南砂麗圓半導體技術有限公司、瀚天天成電子科技(廈門)有限公司、廣東天域半導體股份有限公司、泰科天潤半導體科技(北京)有限公司、杭州海乾半導體有限公司、安徽長飛先進半導體有限公司、中國科學院半導體研究所、中電化合物半導體有限公司、北京第三代半導體產業技術創新戰略聯盟。
歸口單位：北京第三代半導體產業技術創新戰略聯盟標準化委員會（CASAS）
發布日期：2023-06-19
實施日期：2023-06-19
作者：粉體圈
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