華海清科于近日發布公告，為有效搶抓晶圓廠加速擴產的窗口期，擴大先發優勢和規模效應，進一步擴大晶圓再生服務的市場份額，公司擬在江蘇省昆山市建設晶圓再生擴產項目，規劃擴建總產能為40萬片/月，其中首期建設產能為20萬片/月，首期投資預計不超過5億元。
圖源：華海清科
據了解，晶圓再生是一種將晶圓控擋片回收加工使其達到再次使用的標準，從而為晶圓生產企業節約成本的服務，其工藝流程包括對擋控片進行去膜、粗拋、精拋、清洗、檢測等步驟。其中精拋是最關鍵的一道流程，主要通過CMP工藝完成。作為目前國內最大的CMP設備生產商，華海清科憑借自有化學機械拋光（CMP）裝備和清洗裝備，針對下游客戶生產線控片、擋片的晶圓再生需求，積極拓展晶圓再生業務，目前已成為具備Fab裝備及工藝技術服務的晶圓再生專業代工廠，現有晶圓再生產能已達20萬片/月左右，本次擴建全部完成后，公司產能將實現翻倍。
華海清科表示，隨著國內12寸晶圓廠加速擴產，新建產線的工藝要求越來越高，相應對擋控片、測試片的需求激增，此次項目的建設正是為了進一步提高公司的晶圓再生加工能力，以便更好地響應客戶的需求。
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作者：粉體圈
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