3月8日，晶盛機(jī)電通過公眾號(hào)宣布，公司晶體實(shí)驗(yàn)室成功開發(fā)出可制備高品質(zhì)寶石級(jí)金剛石晶體的全自動(dòng)MPCVD（微波等離子體化學(xué)氣相沉積）法生長設(shè)備（型號(hào)XJL200A）。

金剛石生長爐

由于寬帶隙、高擊穿電場(chǎng)、高載流子遷移率和高熱導(dǎo)率，金剛石也被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體”！但是，如何制備出大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石則是制約其應(yīng)用的主要瓶頸。據(jù)了解，MPCVD由于其微波能量無污染、氣體原料純凈、沒有催化劑和雜質(zhì)的摻入等優(yōu)勢(shì)，成為眾多制備方法中最有發(fā)展前景的技術(shù)之一。

此次XJL200A金剛石生長爐還成功解決了傳統(tǒng)的MPCVD培育鉆石生長技術(shù)的行業(yè)痛點(diǎn)：對(duì)多晶及生長裂紋等缺陷的判斷、對(duì)晶體溫度和生長厚度等關(guān)鍵生長參數(shù)的控制都依賴人工判斷，克服了目前人工培育鉆石過程中質(zhì)量控制和規(guī)模化生產(chǎn)的瓶頸。該設(shè)備經(jīng)過長晶測(cè)試表明，能一次可以實(shí)現(xiàn)20顆以上4-5克拉毛坯鉆石的生產(chǎn)能力，設(shè)備穩(wěn)定性好，綜合生長良率高，為大規(guī)模的生產(chǎn)提供了自動(dòng)化操作的基礎(chǔ)。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人表示，目前已經(jīng)完成了設(shè)備定型和批量工藝開發(fā)，設(shè)備即將投放市場(chǎng)，能為客戶提供一站式解決方案。

本次寶石級(jí)MPCVD法金剛石生長爐的成功研發(fā)，標(biāo)志著晶盛機(jī)電依托其強(qiáng)大的技術(shù)研發(fā)力量，目前已成為包括金剛石、硅、藍(lán)寶石、碳化硅等較為全面的晶體生長設(shè)備研發(fā)商。

參考來源：晶盛機(jī)電

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