3月8日，晶盛機電通過公眾號宣布，公司晶體實驗室成功開發出可制備高品質寶石級金剛石晶體的全自動MPCVD（微波等離子體化學氣相沉積）法生長設備（型號XJL200A）。
金剛石生長爐
由于寬帶隙、高擊穿電場、高載流子遷移率和高熱導率，金剛石也被譽為“終極半導體”！但是，如何制備出大尺寸、高品質單晶金剛石則是制約其應用的主要瓶頸。據了解，MPCVD由于其微波能量無污染、氣體原料純凈、沒有催化劑和雜質的摻入等優勢，成為眾多制備方法中最有發展前景的技術之一。
此次XJL200A金剛石生長爐還成功解決了傳統的MPCVD培育鉆石生長技術的行業痛點：對多晶及生長裂紋等缺陷的判斷、對晶體溫度和生長厚度等關鍵生長參數的控制都依賴人工判斷，克服了目前人工培育鉆石過程中質量控制和規模化生產的瓶頸。該設備經過長晶測試表明，能一次可以實現20顆以上4-5克拉毛坯鉆石的生產能力，設備穩定性好，綜合生長良率高，為大規模的生產提供了自動化操作的基礎。項目負責人表示，目前已經完成了設備定型和批量工藝開發，設備即將投放市場，能為客戶提供一站式解決方案。
本次寶石級MPCVD法金剛石生長爐的成功研發，標志著晶盛機電依托其強大的技術研發力量，目前已成為包括金剛石、硅、藍寶石、碳化硅等較為全面的晶體生長設備研發商。
參考來源：晶盛機電
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作者：粉體圈
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