12月27日,國機精工股份有限公司(國機精工)公告,非公開發行股票募集資金總額不超過約2.84億元,主要用于新型高功率MPCVD法大單晶金剛石項目。
單晶金剛石生長襯底(晶種)
金剛石單晶的核心生產技術就是MPCVD技術。目前國外如美、日、德等國家對MPCVD設備的研發起步較早,高功率MPCVD設備制備技術已相對成熟,設備性能穩定可靠,同時在MPCVD法合成單晶/多晶金剛石的基礎研究方面也有著較為豐富的研究成果,部分產品已實現商業化;國內MPCVD關鍵裝備自主開發、沉積面積、金剛石尺寸、缺陷密度、熱性能等重要性能指標上與國外存在較大的差距。
因此,持續對MPCVD設備中關鍵單元開展研究,解決金剛石在功能化應用過程中設備、技術、工藝核心問題,破解國外對于關鍵設備、技術的封鎖,對于保障國家重大工程平穩運行、行業轉型升級具有重大意義。
國機精工于2016年8月立項實施新型高功率MPCVD法大單晶金剛石項目,經過一年多的調研與技術研發,在2018年在正式開始產線的建設工作,經過4年的努力,建成年產30萬片MPCVD法大單晶金剛石生產線。通過一期項目的開發,公司實現了MPCVD設備、工藝、產品開發和生產線的搭建,為二期項目的進行奠定了堅實基礎。
據公告披露,項目位于河南省洛陽市伊川縣白沙鎮產業集聚區,擬在一期項目基礎上,持續開展MPCVD法金剛石關鍵共性技術的研究,提升了現有產品寶石級金剛石品級與工藝穩定性,開發出了2-3寸的金剛石剛石材料,并最終實現產業化生產。擬通過對現有生產場地進行改造,新增自制 MPCVD 設備建設寶石級大單晶金剛石生產線和第三代半導體功率器件超高導熱金剛石材料生產線各一條,成為國內領先的MPCVD法大單晶金剛石材料科研生產基地。項目設計總產能為65萬片/年,其中高品級MPCVD法超高導熱單晶/多晶金剛石5萬片,寶石級大單晶金剛石60萬片。
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作者:粉體圈
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