標準編號：GB/T 42276-2022
標準名稱：氮化硅粉體中氟離子和氯離子含量的測定 離子色譜法
起草單位：新特能源股份有限公司、新疆晶碩新材料有限公司、瑞士萬通中國有限公司、江蘇塞夫特半導體材料檢測技術有限公司、青島盛瀚色譜技術有限公司、青島普仁儀器有限公司、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司、江蘇聯瑞新材料股份有限公司、青島瓷興新材料有限公司。
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/ TC 203/SC 2)
發布日期：2022-12-30
實施日期：2023-04-01
作者：粉體圈
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