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T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅襯底片基準標記及尺寸

發布時間 | 2023-07-18 14:33 分類 | 行業標準 點擊量 | 879
碳化硅
導讀：本文件按照 GB/T 1.1-2020《標準化工作導則第1部分:標準化文件的結構和起直規則》的規定起草。

標準編號：T/CASAS 025-2023

標準名稱：8英寸碳化硅襯底片基準標記及尺寸

起草單位：山東大學、廣州南砂晶圓半導體技術有限公司、瀚天天成電子科技(廈門)有限公司、廣東天域半導體股份有限公司，紹興中芯售成電路制造股份有限公司、泰科天潤半導體科技(北京)有限公司、北京第三代半導體產業技術創新戰略聯盟。

歸口單位：北京第三代半導體產業技術創新戰略聯盟標準化委員會(CASAS

發布日期：2023-06-19

實施日期：2023-06-19

作者：粉體圈

總閱讀量：879